高精度横向压电变形镜设计与制造关键技术研究.pdfVIP

目 录 摘 要i Abstract iii 第一章 绪论 1 1.1 课题来源与研究背景1 1.1.1 研究课题来源 1 1.1.2 课题研究背景及意义 1 1.2 国内外研究现状5 1.2.1 变形镜的设计方法 5 1.2.2 变形镜的加工方法 8 1.2.3 变形镜的控制方法 12 1.3 研究思路与主要内容14 1.3.1 研究思路 14 1.3.2 研究内容 15 第二章 高精度横向压电变形镜优化设计 17 2.1 考虑粘结层的变形镜仿真模型17 2.1.1 含粘结层有限元模型的建立过程 17 2.1.2 有限元模型的实验验证 19 2.2 变形特性的主要影响因素分析21 2.2.1 影响变形量的主要因素 21 2.2.2 影响变形精度的主要因素 23