复合膜结构高频声表面波器件设计、制备及应用.pdfVIP

目 录 摘 要 i Abstract iii 第一章 绪论 1 1.1 研究背景 1 1.1.1 声表面波与声表面波器件 1 1.1.2 声表面波器件是现代信息系统的重要组成 4 1.2 复合膜结构高频声表面波器件研究现状与不足 13 1.2.1 压电薄膜材料发展 13 1.2.2 面向高频IDT 电极的纳米加工技术发展 15 1.2.3 基于复合膜结构的高频声表面波器件研究进展 20 1.2.4 当前研究中存在的问题 23 1.3 研究目标 24 1.4 论文内容与结构安排 24 第二章 高声速AlN/diamond/Si 复合膜衬底结构设计及其制备与表征 27 2.1 背景与动机 27 2.2 基于高频复合膜结构的SAW 传递矩阵模型 28 2.3 高频复合膜结构SAW 传播特性研究 31 2.3.1