复杂光学面形的自适应可变补偿干涉检测技术研究.pdfVIP

目 录 摘 要i Abstract iii 第一章 绪论 1 1.1 课题来源与研究意义1 1.1.1 课题来源 1 1.1.2 课题研究背景与意义 1 1.2 国内外发展现状概述7 1.2.1 提高补偿检测灵活性研究现状 7 1.2.2 实现局部大误差解析研究现状 13 1.3 研究思路与研究内容15 1.3.1 研究思路 15 1.3.2 研究内容 16 第二章 非球面的可变球差补偿检测 18 2.1 非球面的可变球差补偿检测原理18 2.1.1 非球面的零位补偿检测原理 18 2.1.2 可变球差补偿检测的理论模型 23 2.2 大范围可变球差补偿器的优化设计26 2.2.1 球面单透镜可变球差补偿器的优化设计及其检测能力 26 2.2.2 非球面单透镜可变球差补偿器的优化