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常用气体中英文对照名称 符号 中文名称 英文名称 HF 氟化氢 hydrogen fluoride BF3 三氟化硼 boron trifluoride WF6 六氟化钨 Tunglsten Hexafluoride NF3 三氟化氮 nitrogen trifluoride SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride HF 氟化氢 hydrogen fluoride BF3 三氟化硼 boron trifluoride WF6 六氟化钨 Tunglsten Hexafluoride SF4 四氟化硫 Sulfur Tetrafluoride CLF3 三氟化氯 Chlorine Trifluoride POCL3 三氯氧化磷 Phosphorus oxychloride PH3 磷化氢 phosphine C4F6 Hexafluorobutadiene CH2F2 二氟甲烷 Difluoromethane C5F8 八氟环戊烯 octafluoroyclopentene CH3F 氟代甲烷 methyl fluoride(r41) SF6 六氟化硫 Sulfur Hexafluoride CO 一氧化碳 carbon monoxide H2 氢 hydrogen CL2 氯 chlorine F2 氟 fluorine HCL 氯化氢 hydrogen chioride DCS 二氯甲硅烷 DiChlorosilane BCL3 三氯化硼 boron trichloride HBr 溴化氢 hydrogen bromide B2H6 硼乙烷 diborane GeH4 锗烷 germaniumtrtrahydride NH3 氨 ammonia O2 氧气 Oxygen SIH4 硅烷 silane SI2H6 乙硅烷 disilane TMB 三甲硼 Trimethoxy Boron(TMB) B(OCH3)3 TMP 三甲亚磷 Trimethyl Phosphite (TMP) P(OCH3)3 TEOS TEOS 四乙基原硅酸酯 Tetraethoxysilane (TEOS) SI(OC2H5)4 ASH3 砷化三氢 Arsine O3 臭氧 ozone Br2 溴 bromine CLO2 二氧化氯 chlorine dioxide CO2 二氧化碳 Carbon Dioxide H2S 硫化氢 hydrogen sulphide HCN 氰化氢 hydrogen cyanide H2 氢 hydrogen CH4 甲烷 Methane NO2 二氧化氮 nitrogen trifluoride NO 一氧化氮 nitric oxide SO2 二氧化硫 sulfur dioxide BF3 三氟化硼 Boron Trifluoride HF 氟化氢 Hydrogen Fluoride NF3 三氟化氮 Nitrogen Trifluoride WF6 六氟化钨 Tungsten Hexafluoride SiH4 硅烷 Silane (SiH4) (Low Level) ASH3 砷化三氢 Arsine PH3 磷化氢 phosphine B2H6 硼乙烷 diborane SIH4 硅烷 SiH4 silane GeH4 锗烷 GeH4 germaniumtrtrahydride H2Se 硒化氢 H2Se Hydrogen Selenide TBA 特丁基砷化三氢 TBA Tertbutylarsine AsH3 砷化三氢 AsH3 (干) Arsine Cl2 氯气 II Cl2 chlorine NO2 二氧化氮 NO2 nitrogen trifluoride CLO2 二氧化氯 CLO2 Cl2 氯气 III Cl2 chlorine Cl2 氯气 III Cl2 chlorine NO2 二氧化氮 NO2 nitrogen trifluoride HCL 氯化氢 HCI hydrogen chioride HF 氟化氢 HF Hydrogen Fluoride HCL 氯化氢 HCI (低级别 l) hydrogen chioride HBr 溴化氢 HBr hydrogen bromide HI 碘化氢 HI Hydriodic acid MMH 一甲基肼 MMH NH3 氨 II NH3 ammon