薄膜制备技术-试验讲课稿.pptVIP

薄膜制备技术-试验;实验目的 （1）掌握真空获得和;实验原理 1.低真空的获得 ;旋片式机械泵通常由转子、定子、;无标题;当转子顺时针转动时，空气由被抽;（1）高真空的获得 ;无标题;泵的底部—是装有真空泵油的蒸发;（2）真空度的测量 ;①热偶真空计是用在低气压下气体;②电离真空计是根据气体分子与电;无标题;（3）真空镀膜 ;目前，作为物理镀膜方法的真空镀;真空镀膜实质上是在高真空状态下;磁控溅射工作原理磁控溅射的工作;无标题;多弧离子镀原理多弧离子镀采用的;1、准备过程 （1）动手操作前;2、抽真空 （1）将试样装入真;3、镀膜 （1）当真空度达到5;4、结束 关闭靶材电;注意事项 (1)实验过程中要保;思考题 1、镀膜前为什么对玻璃;3、真空计有哪几种？我们为什么;此课件下载可自行编辑修改，仅供