薄厚膜技术电子教案.pptVIP

薄厚膜技术; 分类： 按膜厚分：小于1μm的为薄膜 大于1μm的为厚膜 厚膜与薄膜的概念并不单指膜的厚度，主要还是指制造工艺技术的不同： 厚膜是通过丝网印刷（喷涂）和烧结（聚合）的方法 薄膜是通过真空蒸发、溅散、气相化学淀积、电镀等方法而形成。;厚膜技术;浆料制作 浆料，也称膏材，是由金属或金属氧化物粉末和玻璃粉分散在有机载体中而制成的可印刷的浆状物或糊状物。 浆料种类：包括导体材料、电阻材料、介质材料。 根据不同的浆料（导体、电阻、介质等）的成分和配方，将各种固体粉料先均匀混合，再加入适量载体，使粉料均匀分散于载体中，再进行研磨，从而获得结构均匀厚膜浆料。 厚膜浆料主要成分： 有效物质—功能相粉粒 粘结成分—粘贴剂 有机粘结剂—运载剂 溶剂或稀释剂;有效物质 功能相粉粒，决定膜功能，占50%-70%； ——如果是金属则烧结膜是导体； 高温烧结导体材（钨、钼-锰粉体） 低温烧结导体材（金、银、铜、银-钯） ——如果是金属氧化物则烧结后是电阻； 氧化钌RuO2是常用的厚膜电阻材料 ——如果是绝缘材料则烧结后是介电体，制作电容器。 常用的厚膜电容材料有钛酸钡BaTiO