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测定技术
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洁净室区悬浮粒子测试
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胡家栋
测试时间
对单向流,测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min后开始。
对非单向流测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。
测试完毕,计数器恢复到原状态,关闭电源。
注意事项
仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。
采样管口置采样点采样时,在确认计数稳定后方可开始连续读数。
采样管必须干净,严禁渗漏。
采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外,长度不得大于1.5m。
计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下,以免产生测量误差。
必须按照仪器的检定周期,定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。
计算结果
悬浮粒子浓度的采样数据应按下述步骤作统计计算:
采样点的平均粒子浓度
式中:A——某一采样点的平均粒子浓度,粒/m3;
Ci——某一采样点的粒子浓度(i=1,2,…,N),粒/m3;
N——某一采样点的采样次数,次。
计算结果
平均值的均值
式中:M——平均值的均值,即洁净室(区)的平均粒子浓度,粒m3;
Ai——某一采样点的平局粒子浓度(i=1,2,…,L),粒m3;
L ——某一洁净室(区)内的总采样点数,个
计算结果
标准误差
式中:SE——平均值均值的标准误差,粒m3。
置信上限
UCL=M+t×SE ……………………(5)
计算结果
采样点数L
2
3
4
5
6
7
8
9
9
t
6.31
2.92
2.35
2.13
2.02
1.94
1.90
1.86
——
注:当采样点数多于9点时,不需要计算UCL。
式中:UCL——平均值均值的95%置信上限,粒m3;
t ——95%置信上限的t分布系数
表3 95%置信上限的t分布系数
结果判定
每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限,即Ai≤级别界限
全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信上限必须低于或等于规定的级别界限,即UCL≤级别界限
测试报告
从每一个洁净室(区)得来的测试结果应当被记录,计相一致或不
致的报告也应当被提交。
测试报告应当包括以下内容:
测试报告
测试报告应当包括以下内容:
测试洁净室(区)的名称和地址、测试日期。
测试依据。
被测洁净室(区)的平面位置(必要时标注相邻洁净室的平面位置)。
悬浮粒子的粒径。
测试报告
测试报告应当包括以下内容:
有关测试仪器及其方法的描述:包括测试环境条件,采样点数目及其布置图,测试次数,采样流量,可能存在的测试方法的变更,测试仪器的检定证书等;若为动态测试,则还应记录现场操作人员数量及位置,现场运转设备的数量及位置。
测试结果包括所有统计和计算。
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