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苯大学 电子能谱学 第四讲 X射线光电子能谱的分析方法 朱永法 清华大学化学系 2002.10.15  苯大学 内容提要 前 XPS深度剖析 ·样品制备和预处理 XPS指纹峰分 ·离子束溅射技术 ·ⅩPS定性分析 XPS定量分析 XPS价态分析 清华大学化学系材料与表面实验室  苯大学 前言 实验方法的种类和重要性 分析方法的种类和重要性 信息的来源以及应用范围的适用性 清华大学化学系材料与表面实验室  苯大学 样品的制备 ·Ⅹ射线光电子能谱仪对待分析的样品有特殊的要 求,在通常情况下只能对固体样品进行分析。 由于涉及到样品在超高真空中的传递和分析,待 分析的样品一般都需要经过一定的预处理。 主要包括样品的大小,粉体样品的处理,挥发性 样品的处理,表面污染样品及带有微弱磁性的样 品的处理。 清华大学化学系材料与表面实验室  苯大学 样品的大小 在实验过程中样品必须通过传递杆,穿过超高真 空隔离阀,送进样品分析室。因此,样品的尺寸 必须符合一定的大小规范 对于块体样品和薄膜样品,其长宽最好小于 10mm,高度小于5mm 对于体积较大的样品则必须通过适当方法制备成 合适大小的样品 ·但在制备过程中,必须考虑到处理过程可能会对 表面成分和状态的影响。 清华大学化学系材料与表面实验室  苯大学