扫描电镜的结构原理及图像衬度观察..pdfVIP

实验四 扫描电镜的结构原理及图像衬度观察 一 实验目的 1 结合扫描电镜实物， 介绍其基本结构和工作原理， 加深对扫描电镜结构及原理的了解。 2 选用合适的样品，通过对表面形貌衬度和原子序数衬度的观察，了解扫描电镜图像衬 度原理及其应用。 3 利用二次电子像对断口形貌进行观察。 二 实验原理 1 扫描电镜基本结构和工作原理 扫描电子显微镜利用细聚电子束在样品表面逐点扫描， 与样品相互作用产生各种物理信 号．这些信号经检测器接收、 放大并转换成调制信号． 最后在荧光屏上显示反映样品表面各 种特征的图像。 扫描电镜具有景深大、 图像大体感强、 放大倍数范围大连续可调、 分辨率高、 样品室空间大且样品制备简单等特点， 是进行样品表面研究的有效分析工具。 图 4-1 为扫描 电镜结构原理方框图。 扫描电镜所需的加速电压比透射电镜要低得多， 一般约在 1—30kV 、实验时可根据被分 析样品的性质适当地选择，最常用的加速电压约在 20kV 左右。扫描电镜的图像放大倍数在 一定范围内， （几十倍到几十万倍 )可以实现连续调整， 放大倍数等于荧光屏上显示的图像横 向长度与电子束在样品上横向扫描的实际长度之比。 扫描电镜镜的光光学系统与透射电镜有 所不同， 其作用仅仅是为了提供扫描电子束． 作为使样品产生各种物理信号的激发源。 扫描 电镜最常使用的是二电子信号和背散射电子信号， 前者用于显示表面形貌衬度， 后者用于显 示原子序数衬度。 图 4-1 扫描电镜结构原理方框图 扫描电镜的基本结构可分为六大部分，电子光学系统、扫描系统、 信号检测放大系统、 图像 显示和记录系统、 真空系统和电源及控制系统。 这一部分的实验内容可参照教材 （材料分析 方法），并结合实验室现有的扫描电镜进行，在此不作详细介绍。主要介绍两种扫描电镜 Quanta 环境扫描电子显微镜和场发射扫描电镜。 2 表面形貌衬度原理及应用 二次电子信号主要用于分析样品的表面形貌。二次电子只能从样品表面层 5— 10nm 深度范围内被入射电子束激发出来， 大于 10nm 时， 虽然入射电子也能使核外电子脱离原子 而变成自由电子， 但因其能量较低以及平均自由程较短， 不能逸出样品表面， 最终只能被样 品吸收。 被入射电子束激发出的二次电子数量和原子序数没有明显的关系， 但是二次电子对微区 表面的几何形状十分敏感。 图 4-2 说明了样品表面和电子束相对位置与二次电子产额之间的 0 关系。入射束和样品表面法线平行时，即图中 θ＝0 ，二次电子的产额最少。若样品表面倾 0 1/2 斜了 45 ，则电子柬穿人样品激发二次电子的有效深度增加到 2 倍，入射电子使距表向 5 — 10nm 的作用体积内退出表面的二次电子数量增多 (见图中黑色区域 )。若入射电子束进入 了较深的部位 (例如图 4-2 中的 A 点)，虽然也能激发出一定数量的自由电子， 但因 A 点距表 面较远 (大于 L ＝5— 10nm) ，自由