重2020N026IC制程用BOE蚀刻液配方关键技术研发.PDF

重2020N026IC制程用BOE蚀刻液配方关键技术研发 一、领域： 四、新材料-- （三）精细和专用化学品 二、主要研发内容 （一）电子级氢氟酸及氟化铵的开发研究； （二）功能添加剂的筛选、设计与合成研究； （三）蚀刻液配方与机台工艺的适配优化研究。 三、项目考核指标（项目执行期内） （一）经济指标：实现销售收入（或量产应用）≥2000万 元。 （二）学术指标：申请专利≥8件，其中发明专利≥4件。 （三）技术指标： 1.金属离子含量＜1ppb，氯离子含量＜100ppb，硫酸根离子 含量＜100ppb，硝酸根离子含量＜100ppb； 2.SiO蚀2 刻速率：570-800Å/min； 3.实现蚀刻液在28nm、14nm或更先进制程中的量产应用。 四、项目实施期限： 3年 五、资助金额： 不超过1000万元 重2020N027 面向集成电路封装基板微孔加工的极小径 微型钻头及涂层关键技术研发 一、领域： 四、新材料-- （三）金属材料 二、主要研发内容 （一）超精密加工表面创成机理研究 （二）微钻失效机制研究； （三）极小径微钻设计和制造关键技术研究； （四）超硬金刚石涂层技术研究。 三、项目考核指标（项目执行期内） （一）经济指标：实现销售收入（或量产应用）≥2000万 元。 （二）学术指标：申请专利≥8件，其中发明专利≥4件。 （三）技术指标： 1.极小径大长径比微钻：最小直径0.075mm，长径比≥20； 2.极小径金刚石涂层钻头：最小直径0.12mm，钻孔寿命 ≥100,000孔； 3.超硬涂层性能：涂层硬度≥60GPa，摩擦系数≤0.1。 四、项目实施期限： 3年 五、资助金额： 不超过1000万元 重2020N028 固定曲率AMOLED用低色偏圆偏光片关键 技术研发 一、领域： 四、新材料-- （三）高分子材料 二、主要研发内容 （一）多层光学膜低内应力复合技术研究； （二）双液晶相位补偿膜工艺研究； （三）高透过染色拉伸工艺研究； （四）高黏着力压敏胶开发研究。 三、项目考核指标（项目执行期内） （一）经济指标：实现销售收入（或量产应用）≥2000万 元。 （二）学术指标：申请专利≥8件，其中发明专利≥4件。 （三）技术指标： 1.反射率（8°）≤6.0%，UV透过率（波长380nm）≤1%， 单体透过率≥42.5%； 2.有效厚度＜110μm，压敏胶粘着力≥200gf/25mm； 3.耐高温性能：80℃，240h；耐低温性能：-30℃，240h； 耐高温高湿性能：60℃，90%RH，240h；冷热冲击性能：-40℃- 85℃，100个循环。 四、项目实施期限： 3年 五、资助金额： 不超过1000万元 重2020N029高铁用特种功能记忆材料及电缆终端关键 技术研发 一、领域： 四、新材料-- （三）高分子材料 二、主要研发内容 （一）非线性应力控制冷缩记忆材料设计研究； （二）刚性阻燃耐漏电起痕性一体式伞裙绝缘材料研究； （三）电缆终端整体电气性能设计研究。 三、项目考核指标（项目执行期内） （一）经济指标：实现销售收入≥2000万元； （二）学术指标：申请专利≥7件，其中发明专利≥3件； （三）技术指标： 1.非线性应力控制冷缩记忆材料： （1）介电常数：25±5； （2）拉伸强度≥10MPa； （3）硬度（邵氏A）：40-45； （4）低温弯曲（-40℃，4h）：不开裂； （5）拉伸永久变形（100℃，25h，100%拉伸）≤10%。 2.刚性阻燃耐漏电起痕性一体式伞裙绝缘材料： （1）硬度（邵氏A）≥32；拉伸强度≥8MPa；断裂伸长率 ≥350%；击穿强度≥