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31 SAW 传感器信号检测 图 7-12 正交相位检波原理 0° 功 分 器 ) cos( ) ( 0 i t B t S ? ? ? ? ) cos( 0 1 i t B ? ? ? ) cos( 0 1 i t B ? ? ? 90°功分器 ) cos( 0 t A ? ) cos( 0 1 t A ? ) sin( 0 1 t A ? 低通滤波 低通滤波 ? arctan ? I Q 32 一 选择零温度系数切型 二 差动法 三 数字补偿法 四 浮动零点法 SAW 传感器的温度补偿 33 １）高精度，高灵敏度； ２）准数字输出 ； ３）微型化，低功耗； ４）便于实现无线、无源化 ； ５）多参数敏感性，抗干扰能力强； 6 ） 结构工艺性好，便于大批量生产 SAW 传感器特点 34 到日前为止，已经研制出的 SAW 传感 器，归纳 起来可分为三大类： 1 物理量传感器 ： 力 ( 压力、应力 ) 传感器、扭矩传 感器、加速度传感器、 角速度传感器（陀螺）、温 度传感器、位移传感器、倾斜度传感器、磁场传感 器、电压传感器、流量传感器、水声传感器等 2 化学量传感器 ： 气体传感器、露点传感器、湿度 传感器、微质量传感器 ( 微量天平 ) 等； 3 生物传感器 ： 酶传感器、免疫传感器、液体识别 传感器、离子识别传感器等。 种类 35 8.5 声表面波传感器的应用