激光标刻工艺实践 CO2激光标刻机谐振腔的结构 013CO2激光标刻机谐振腔的结构.pptVIP

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2020-12-13 发布于北京
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激光标刻工艺实践 CO2激光标刻机谐振腔的结构 013CO2激光标刻机谐振腔的结构.ppt

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光机电应用技术国家教学资源库 CO2激光标刻机谐振腔的结构课程：激光标刻工艺实践主讲教师：张伟教学目标：掌握CO2激光标刻机谐振腔的结构及各部件作用。教学内容： 1、CO2激光器的类型； 2、CO2激光标刻机谐振腔的结构。 CO2激光标刻机谐振腔的结构 1、CO2激光器的类型（1）根据气体流动方式分类 ①封闭管式：工作气体在谐振腔中不流动； ②纵向慢流式：工作气体在谐振腔中缓慢流动； ③横流式：工作气体在谐振腔中流动方向与光束传播方向垂直； CO2激光标刻机谐振腔的结构 1、CO2激光器的类型（1）根据气体流动方式分类 ④轴流式：工作气体在谐振腔中流动方向与光束传播方向同轴； ⑤旋流式：工作气体在谐振腔中旋转流动； ⑥扩散冷却式：性能稳定。 CO2激光标刻机谐振腔的结构 1、CO2激光器的类型（2）根据激励方式分类 ①普通直流高压激励：交流升压—高压整流（16kV） ②逆变直流高压激励：交流变频—低压整流—直流升压（16kV）； ③射频激励：采用无线电波的频率进行激励。 CO2激光标刻机谐振腔的结构 1、CO2激光器的类型（3）根据谐振腔形式分类 ①单管直腔式：光束在直线式的腔中振荡，通常用于慢流式激光器中； ②折叠腔式：内部光路中增加折叠镜，增加激光的振荡长度以提高功率。 CO2激光标刻机谐振腔的结构 1、角镜体 2、光桥 3、回气座 4、输出镜座 2、CO2激光标刻机谐振腔的结构 CO2激光标刻机最常用的激光器：封离式CO2激光器和射频激励CO2激光器。 ①封离式CO2激光器谐振腔：平面反射镜、阴极、水冷管、储气管、进水口、阳极、全反凹面镜。 CO2激光标刻机谐振腔的结构 2、CO2激光标刻机谐振腔的结构 ②射频激励CO2激光器：平面反射镜、内电极、外电极、水冷管、全反凹面镜。 CO2激光标刻机谐振腔的结构小结 1、CO2激光器根据气体流动方式分为封闭管式、纵向慢流式、横流式、轴流式、旋流式、扩散冷却式等多种； 2、CO2激光标刻机最常用的激光器有封离式CO2激光器和射频激励CO2激光器； 3、封离式CO2激光器谐振腔由平面反射镜、阴极、水冷管、储气管、进水口、阳极、全反凹面镜构成。 CO2激光标刻机谐振腔的结构作业 1、封离式CO2激光器谐振腔有哪些部分构成？ 2、CO2激光标刻机最常用的激光器有哪两种？ CO2激光标刻机谐振腔的结构光机电应用技术国家教学资源库