机电检测技术 任务4.1 电阻应变式压力检测系统 任务4-1电阻应变式压力传感器结构与原理.pptVIP

* 提问：牛皮筋最大的应变是1 ?ε？106 ?ε？107?ε数量级？ * 提问：左下图为什么将一排应变片做在纸条里？ * 提问：好像是三明治结构？ * 提问：1.什么是“蠕变”？ 2.为什么箔式应变片的散热好？ * 提问：右下图用于什么方向应变的检测？右侧圆形的用于什么方向的检测？ * 提问：什么是半导体的扩散、外延和薄膜工艺？ * 提问：1.应变片可分为哪两大类？（金属应变片及半导体应变片两大类） 2.半导体应变片的灵敏度比金属应变片高还是低？（高几十倍） 3.半导体应变片的的缺点是什么？（一致性差、温漂大、电阻与应变间非线性严重） 4.表2-2中，哪几种型号属于半导体应变片？依据是什么？ 4.半导体应变片使用时，最重要的是必须考虑什么问题？ * 提问：如果不预先测量应变片的阻值，就开始粘贴，可能有什么不好的结果？ * 提问：用铅笔划线吗？ * 提问：为什么要磨砂？ * 提问：粘贴应变片时，为什么要重视试件的表面处理？ * 提问：用透明胶带将应变片与构件在引脚处临时固定， * 提问：如果胶水太多，会产生什么不利的效果？ * 提问：直接将手指压上去会产生什么后果？ * 提问：难道应变片与金属板之间不导通吗？不是说阻值是几百欧姆吗？ * 提问：为什么应变片的引线不能绷紧？ * 提问：焊接时间较长后，会产生什么问题？ * 提问：在应变片周围涂上软硅胶后，不就影响受拉或受压的应变了吗？ * 提问：为什么要再次检查应变片的阻值和绝缘情况？ * 提问：为什么要用胶带将引线包起来？目的是什么？ 任务4-1电阻应变式压力传感器结构与原理 导体或半导体材料在外界力的作用下，会产生机械变形，其电阻值也将随着发生变化，这种现象称为应变效应。 电阻应变传感器主要由电阻应变片、弹性元件及测量转换电桥电路等组成。 应变原理演示 金属丝受拉时，l 变长、r 变小，导致R变大 。 应变片的工作原理 1－拉伸前 2－拉伸后 电阻丝受拉后，长度增加，直径变小，电阻变大。 应变片的结构 1－引出线 2－覆盖层 3－基底 4－电阻丝 l ：应变片的工作基长， b ：应变片基宽， b×l：应变片的有效使用面积。 应变片的电阻相对变化量与力的关系 应变片中的电阻丝的电阻相对变化量?R/R，与材料力学中的轴向应变?x的关系在很大范围内是线性的，即 ?x =F/(AE），设K 为灵敏度，金属材料的面积为A，弹性模量 为E，则? R/R又可表示为 微应变（?ε） 对于不同的金属材料，K 略有不同，一般为2左右。而对半导体材料而言，由于其感受到应变时，电阻率? 会产生很大的变化，所以灵敏度比金属材料大50~200倍。 在材料力学中，?x=?l/l称为电阻丝的轴向应变，也称纵向应变。 ?x通常很小。例如，当?x为0.000001（10-6）时，在工程中常表示为1?m/m或 1微应变(1 ? ?)。 对金属材料而言，受力之后所产生的轴向应变最好不要大于1?10-3，即应小于1000?m/m（1000 ? ?），否则有可能超过材料的极限强度而导致非线性或断裂。 应变片的分类 应变片可分为金属应变片及半导体应变片两大类。前者可分成金属丝式、箔式、薄膜式等。 a）金属丝式 b）金属箔式 c）金属箔式外形 d）半导体应变片 1－电阻丝 2－金属箔 3－半导体 4－基片 5－引脚 6－定位标记 7－金丝 金属丝式应变片的结构 金属丝式与箔式应变片的区别 金属丝式应变片蠕变较大，金属丝易脱胶，逐渐被箔式所取代。但金属丝式应变片价格便宜，多用于大批量、一次性试验。 箔式应变片中的箔栅是金属箔通过光刻、腐蚀等工艺制成的。箔式应变片与片基的接触面积大得多，散热条件较好，在长时间测量时的蠕变较小，一致性较好，目前广泛用于电子秤等各种应变式传感器中。 焊接温度250℃ 不同测量方向的金属箔式应变片图形 半导体应变片 以N型和P型硅为基底，利用扩散、外延和薄膜工艺制成的。主要优点是灵敏度比金属应变片高很多。 缺点是：灵敏度的一致性差、温漂大、电阻与应变间非线性严重。 在使用时，需采用半桥、全桥温度补偿及非线性补偿措施。 某系列应变片主要性能指标 上表中，哪几个型号是半导体应变片？依据是什么？ 应变片的粘贴 1） 检查通断。 2）在选定贴应变片的位置划出十字线。 3 ）再用细砂纸精磨（45度交叉纹）。 4 ）用棉纱或脱脂棉花沾丙酮清洁结构表面，擦几遍后，不可再用手接触表面。 5 ）用透明胶带将应变片与构件在引脚处临时固定，移动胶带位置使应变片达到正确定位。 6）在应变片的反面涂上一滴快干胶水，视应变片面积而定 ，胶水量不宜过多