等离子体技术以应用 2 2 静电探针法朗谬尔探针.pptVIP

静电探针法 ( 朗谬尔探针 ) 测量电子温 度，离子密度 主要是测量等离子体电位或探针电流 和加到探针上的电压间关系来计算。（增 加： P65 ） 2.2.5 等离子体状态（诊断） 单探针 双探针 三探针 静电探针测量等离子体参量的方法是郎缪尔 (Langmuir ） 1924 年提出的。此方法测量探针的伏安特性，再依次推算出有 关等离子体的电子温度、浓度、能量分布和空间电位。 虽然探针的插入对等离子体有扰动，但扰动的范围只有几 个德拜长度，所以有一定的空间分辨能力，因此还可移动探针 在等离子体中的位置，藉以获得等离子体电子浓度、电位的空 间分布。 此外，探针结构简单、使用方便，因此是研究低温等离子 体的重要工具。本节介绍探针的测量条件、原理及其应用。 （一）静电单探针的使用条件及其伏安特性 使用单探针的条件如下： (1 ）被测空间是电中性的等离子体空间，电子浓 度 n e 和正离子浓度 n i 相等，电子与正离子的速度满足麦 克斯韦速度分布，它们的温度分别为 T e 和 T i ； (2 ）探针周围形成的空间电荷鞘层厚度比探针面 积的线度小，这样可忽略边缘效应，近似认为鞘层和探 针的面积相等； (3 ）电子和正离子的平均自由程比鞘层厚度 λ D 大， 这样就可忽略鞘层中粒子碰撞引起的弹性散射、粒子激 发和电离； (4 ）探针材料与气体不发生化学反应； (5 ）探针表面没有热电子和