半导体厂气体供应系统之规划设计.pdfVIP

Unit 2309 , R nF ng Building, No.490 广州咨群洁净系统科技有限公司 Unit 2309 , R nF ng Building, No.490 广州咨群洁净系统科技有限公司 TiaH Rd , Guangzhou , P.R.C 510620 TiaH Rd , Guangzhou , P.R.C 510620 A R C O T E C H G A S S Y S T E M C O R P. A R C O T E C H G A S S Y S T E M C O R P. TEL：020-********-2  FAX:020-********  TEL：020-********-2  FAX:020-********  半导体厂气体供应系统的规划与设计 半导体厂气体供应系统的规划与设计 摘要 摘要 本文主要讨论半导体厂气体供应系统的规划与设计,其内容包括大宗气体 (Bulk Gases,如 N2、H2、O2、等)，特殊气 本文主要讨论半导体厂气体供应系统的规划与设计,其内容包括大宗气体 (Bulk Gases,如 N2、H2、O2、等)，特殊气 体 （Special Gases,如 SiH4、PH3 等）及气体侦测监控系统相关规范的介绍 [1]，以及其储存设备的位置、空间及供应管 体 （Special Gases,如 SiH4、PH3 等）及气体侦测监控系统相关规范的介绍 [1]，以及其储存设备的位置、空间及供应管 路、流程的设计规划，并探讨供气系统所涉及的相关法规及标准，以及其安全性的考量原则。 路、流程的设计规划，并探讨供气系统所涉及的相关法规及标准，以及其安全性的考量原则。 ：气体供应、大宗气体(Bulk Gases)、特殊气体 （Special Gases）、气体监控 关键字：气体供应、大宗气体(Bulk Gases)、特殊气体 （Special Gases）、气体监控 关键字 前言： 前言： 近年来半导体工业发展快速，半导体制程更是日趋复杂，而在半导体厂中所使用的制程化学气体欲具有向导的危险 近年来半导体工业发展快速，半导体制程更是日趋复杂，而在半导体厂中所使用的制程化学气体欲具有向导的危险 性 （如 SiH4 等)，任何疏失都有可能造成人员严重的伤亡与设备重大的损失，因此如何将这些高危险气体安全地输送到 性 （如 SiH4 等)，任何疏失都有可能造成人员严重的伤亡与设备重大的损失，因此如何将这些高危险气体安全地输送到 制程机台上使用，将是半导体厂安全中重要的考量因素；本文之 目的即在探讨气体供应系统整体性与原则性的规划设 制程机台上使用，将是半导体厂安全中重要的考量因素；本文之 目的即在探讨气体供应系统整体性与原则性的规划设 计，而在实际建厂时仍需依各厂的实际情况进行规划设计，以期达到较佳的实用性与安全性。 计，而在实际建厂时仍需依各厂的实际情况进行规划设计，以期达到较佳的实用性与安全性。 半导体厂的供气系统一般可区分为大宗气体和特殊气体，其中 半导体厂的供气系统一般可区分为大宗气体和特殊气体，其中 大宗气体通常是以室外的大型桶槽或桶车系统供应为主，当制程有 大宗气体通常是以室外的大型桶槽或桶车系统供应为主，当制程有