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扫描电子显微镜和能量色散X射线谱Scanning electron microscope (SEM) and Energy Dispersive Spectrometer(EDS)2014-3-19提 纲发展历史SEM简介结构原理分辨率和放大倍数电子束与试样相互作用形貌象解释EDS简介基本原理和基本原则基本分析方法应用实例发展历史光学显微镜早期显微镜现代显微镜还能放的更大吗？光源：390~760nm分辨率：0.5波长早期的显微镜用玻璃镜片作透镜，用可见光作为光源，因此称为光学显微镜。最好的光学显微镜可以达到1500倍的放大倍数波长更短的光源发展历史波长更短的光源波长：1nm分辨率：0.5波长聚焦：电磁线圈电子波显微镜光源改变方向、发生折射和聚焦成象发展历史电子显微镜1924 Louis de Broglie 提出电子本身具有波动的物理特性， 进一步提供电子显微镜的理论基础。1926 Busch 发现电子可偏折一般， 由电磁场的改变而偏折。1931德国物理学家Knoll 及Ruska 首先发展出穿透式电子显微镜原型机。1937 首部商业原型机制造成功（Metropolitan Vickers 牌）。1938 第一部扫描电子显微镜由Von Ardenne 发展成功。1938～39 穿透式电子显微镜正式上市（西门子公司，50KV~100KV，解像力20~30Aring；）。194