任务五硅芯切槽与腐蚀.pptVIP

项目一:原、辅料的制取 工作任务 任务五硅芯的腐蚀及切槽 击灬關营技符季汔 多兰费 谷学习目标 应知职业知识 应会职业技能 1、硅芯制备的工作原理 1、切割法制备硅芯的方法 2、硅芯制备的工艺流程 3、对硅芯的质量要求 4、制备硅芯的设备及操作方法 ② 2、硅芯炉制备硅芯的方法 3、硅芯腐蚀液的配制 硅芯腐蚀的操作 5、制备硅芯的技术问题 6、硅芯腐蚀的原理 7、硅芯腐蚀的工艺流程 硅芯腐蚀的主要设备及作用 硅芯腐蚀的操作要点 10、硅芯腐蚀的质量控制与安全 控制 击灬關营技符季汔 多兰费 任务五花的切槽与腐蚀 硅芯的制备 在三氯氢硅的氢还原过程中,是让还原出来的纯硅沉积 到一发热载体上结晶成多晶硅,该发热载体可以是高纯度高 熔点而且在高温下扩散系数很低的金属,如钼丝、钽管、钨 丝……等,也可以是用纯硅材料控制出的硅芯。这两类发热 载体在多晶硅制备工艺中都有应用,但各有优缺点。目前我 国制备多晶硅最常用的发热载体是硅芯 硅芯 对还原生长的多晶硅不沾物,易获1.还原电器控制相对简便 得高纯度多晶硅 2.低压启动易操作 优点 2.不存在剥离发热体芯,多晶硅的损 耗水实收率高 还原电器设备较复杂 高温下对多晶硅有沾污影响 2.高压启动控制难度大 2.去除金属芯时硅耗损量达 3.消耗大量贵金属材料 击灬關营技符季汔 多兰费 任务五花的切槽与腐蚀 硅芯制备的方法 吸管法:最早制硅芯是