DB13T 5072-2019 稳态置换流洁净系统.pdfVIP

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ICS 91.140 Q 00 河 北 省 地 方 标 准 DB 13/T 5072—2019 稳态置换流洁净系统、施工及收 2019 - 11 - 28 发布 2019 - 12 - 28 实施 发 布 DB13/T 5072—2019 前 GB/T 1.12009则 专不承专 市市 位:工、国、、、 工、 :宋、、、、、国 I DB13/T 5072—2019 稳态置换流洁净系统、施工及收 1 围 、工、、为工、 工 工化工括化工 化工 2 性引用文件 不 不其 (括 GB 25915 受控 GB 50019 工 GB 50073 房 GB 50243 工工 GB 50300 工工 GB 50591 工 GB 51110 房工 GB 50016 3 术和定义 GB 50073为GB 50073 3.1 洁净室 clean room 受控房其、控制 3.2 粒径 part icle size 、 GB 50073-2013,2.0.6 3.3 悬浮粒子 airborne part icle 1 DB13/T 5072—2019 寸0.1μ m5μ m不 、化、 GB 50073-2013,2.0.7 3.4 洁净度 cleanliness 位区 GB 50073-2013,2.0.12 3.5 多元构 mult ivariate reconstruct ion 护为 3.6 新沉室 new w ind sett lement space 功 3.7 气流流型 air flow pattern 动动动 GB 50073-2013,2.0.13 3.8 单向流 unidirect ional airf low (区、受控 GB 50073-2013,2.0.14 3.9 单向流 non-unidirect iona l flow (区 (区 GB 50073-2013,2.0.17 3.10 稳态置换流 steady d isplacement f low 受控区 ( 3.11 空态 as-built

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