半导体设备与材料行业发展报告技术创新,变革未来目录一、底层支撑:半导体工艺核心设备:制造重心转移,晶圆厂开启扩产潮材料:含硅量提驱动需求增长半导体设备是半导体制造工艺的核心图表:半导体设备擎起整个电子信息产业半导体产业的核心在于制造,制造的核心是工艺,工艺的核心是设备和材料。半导 体设备、材料与半导体工艺相辅相成,相互制约。根据半导体行业内“一代设备, 一代工艺,一代产品”的经验,半导体设备是半导体是晶圆制造商获取制程技术的 关键,制造每道制程中的量产规格(包括量测数据和相关制程参数设定)是采购和 验收设备的标准。也是每一家制造商的专利及核心技术的组成部分,制程技术必须 要通过购买设备才能取得。图表:半导体设备是整个信息产业发展的基石资料来源:麦肯锡,主流晶圆尺寸停留在300mm尚未继续发展,为IC设备国产化赢得时间摩尔定律逐渐逼近物理和经济极限,发展有放缓趋势,为国内半导体设备企业追赶国际大厂赢得宝贵时间。从“特征尺寸”来说,由于先 进工艺节点的建厂成本呈指数级增长,当前全球也仅有中国台湾地区台积电、韩国三星等极个别代工厂可以继续投资7nm及以下工艺的研发和 生产线建设,美国英特尔正在研发7nm工艺,格罗方德已搁置7nm研发。从“晶圆尺寸”来说,自2001年出现12英寸硅片以来,由于费用投 入过大的问题,何时向18英寸发展仍是未知之数。而与此相对应的是,AIOT场景驱动下,辅助
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