Tescan-vega3扫描电镜操作规程.pdfVIP

纳米纤维课题组Tescan vega3 扫描电镜操作规程 见贤思齐 1.最小化放大倍数，调整电流，home/calibrate 样品台，关闭 电压，点击Vent 放气。等待右下方显示Venting Finish。 2.装载试样。需将试样用导电胶粘紧。(检查每一个螺丝是否拧 紧。没有放样品的螺丝也应该拧紧。) 3.小心关上仓门，点击Pump 抽真空。等待Chamber 真空度进度 条变绿后，即可进行下一步。 4. 操作前参数检查： A，首先检查高压（HV）是否为所需值，若不是可先点击右边信 息盘的HV 再在右上边输入所要求值。 B，其次检查Beam intensity 值，正常扫描时为10. C，点样品操作盘，想要做的第一个样品所在位置（1-6 标号）。 样品台会移动到视野内。 5.调节Z 轴 逐次减小，使样品接近镜筒。（这个值为样品台到镜 筒的距离。所以合适的值既是自己样品中最高的样的高度加10 的余 量）比如：自己样品中最高的为10，则最终可以调节z 轴至20。 6. 找好试样位置（点击鼠标的滚珠可以调节位置），开始先选择 MODE 模式(宽视野、连续宽视野)，再点击Mag （视野右手边一竖行快 捷键中），再在右上边输入放大倍数（刚开始可先输入100 倍），逐级 放大。当视野中图像模糊，但有图像时，点击WD (视野右手边一竖行 快捷键中)，在再视野中双击左键可以出现一个小方框（右键调节方 框大小），再左右滚动左手边放置的轨迹球聚焦至图像清楚。再放大， 再聚焦，直至达到需求即可。 如果图像无法调清楚则观察是否为以下两种情况： 1）低倍时，调节WD 时图像有移动，选择右下方HV 附近 Adjustment 中第三项 弹出一个对话框点Next 视野中会弹出一个闪 动图像，然后调节轨迹球（按住F11 调节上下方向，F12 调节左右方 向）直至图像在中心跳动（而不是左右或上下移动）再聚焦。 2）高倍时图像有单一方向的拉长，则判断为有相散，点击Stg 右手边一竖行快捷键中。然后调节轨迹球。（按住F11 调节上下方向， F12 调节左右方向）直至图像不再变形，再聚焦。 （一般要求高倍调节，低倍出图。例如：需要1000 倍，则应将 2000 倍调节清楚。） 7.拍照之前应检查亮度对比度是否合适，调节亮度。 8.选择扫描速度Speed6 或7 保存照片，（调节时Speed 选择3 或 4，找样品时选择1 或2）。 9.重复6-8 完成拍照。 10.实验完成后归位操作：放大倍数调至最小 （MAG 可以直接输 入0，则自动变为最小值）、SPEED 扫描速度最低（speed 调节为1）； home/calibrate 样品台，关闭高压（点击HV）。 11.点击Vent 放气，venting finish 后拉开仓门，取出试样后 仍然应当将螺丝拧进去。 12.取样完成后关闭仓门抽上真空。 补充：对于试样： A．不导电样品应选择喷金或喷碳。 B．块体试样底面应尽量平整。 C．粉体试样，粒度相对大的可以用镊子夹取按在导电胶上，粒 度小的细粉应拿不与之反映的溶剂分散后，滴一滴在锡箔纸上。