无尘室_洁净室_净化车间标准规格说明(美标、日标).pdfVIP

无尘室/洁净室/净化车间标准规格说明（一） 目前世界各国虽有自订规格，但普遍还是采用美国联邦标准209为多，今就209D及209E 和世界上其他各国之所订标准再做更进一步之介绍与相互比较。表1-1为美国联邦标准209D 之洁净室规格。 表 1-1 美国联邦标准209D洁净室规格 风速与换气率 洁净室 微尘粒子 压力 温度 照度lux （次/hr) 级数（C 粒子大小 粒子数目 Pa 推薦 误差 最大MA 最小 lass) 3 mmAg 值域℃ 误差% um rticles/ft 值℃ 值℃ X% MIN% ≧0.5 ≦1 1 ≧5.0 0 层流方式 0.35~ ≧0.5 ≦10 ±2.8 0.55 m/s 10 ±10 ≧5.0 0 1080 ≧0.5 ≦100 100 ~ ≧5.0 ≦1 ＞1.3 19.4~25 22.2 特殊 45 30 ≧0.5 ≦1000 特殊 1620 1000 ≧5.0 ≦10 需求 需求 ≧0.5 ≦10000 乱流方式≧20 10000 ±5 ≧5.0 ≦65 ±1.4 次/hr ≧0.5 ≦100000 100000 ≧5.0 ≦700 至于 209E和209D等最大之不同点在于209E表示单位增加了公制单位，即洁净室等级以 “M”字头表示，如M1、M1.5、M2、M2.5、M3依此类推，其目的在于配合国际公制单位 之标准化。M字母后之阿拉伯数目字是以每立方公尺中≧0.5um之微尘粒子数目字以10的幂次 方表示，而取指数为之；若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间（即非整数，则以1.5、 2.5、或3.5等表示之。表1-2即为1992年9月新颁布之美国联邦标准209E之内容， 前述之M字母后的数字，可从表中0.5um列的数值中求出，读者可试算之。 表 1-