光刻胶参数及光刻工艺.docxVIP

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2020-12-28 发布于山东
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光刻胶参数及光刻工艺.docx

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光刻胶参数及光刻工艺 1、正性光刻胶 RZJ-304 规格 RZJ-304 ： 25mpa· s ， 50mpa· s （粘稠度，）配用显影液： RZX-3038 匀胶曲线注：粉色为 50cp，蓝色为 25cp 推荐工艺条件 ①涂布： 23 ℃，旋转涂布，膜厚 1.0 ～ 3.5 μm ②前烘：热板 100 ℃× 90sec ③曝光： 50 2 : 取能量60mj/cm 2 取光强 400 2 2 ，～ 75mj/cm （计算方法 × 10um/cm 则 60/40=1.5s ） ④显影： 23 ℃， RZX-3038 ， 1min ，喷淋或浸渍 ⑤清洗：去离子水 30sec ⑤后烘：热板 120 ℃× 120sec 2、正性光刻胶 S1813 规格 S1813，配用显影液为 ZX-238 匀胶曲线推荐工艺条件 1（以具体工艺为参考） ①涂布： 23 ℃，旋转涂布，膜厚 1.23um （ 1.1 ～ 1.9 μ m） ②前烘：热板 115 ℃× 60sec 2 ③曝光： 150mj/cm ④显影： 21 ℃， ZX-238 ，65sec ，喷淋或浸渍 ⑤清洗：去离子水 30sec ⑥后烘：热板 125 ℃× 120sec 3、负性光刻胶 AZ-5214 规格 AZ-5214 ，配用显影液 AZ-300 匀胶表格（单位：微米）推荐工艺条件 1（以具体工艺为参考） ①涂布： 23 ℃，旋转涂布，膜厚 1.47um （ 1.14 ～ 1.98 μ m） ②前烘：热板 100 ℃× 90sec 2 ③曝光： 240mj/cm ④后烘： 115 ℃× 120sec 2 ⑤泛曝光： 200mj/cm ⑥显影： 21 ℃， AZ-300 ， 60sec ，喷淋或浸渍 ⑦清洗：去离子水 30sec ⑧坚膜：热板 120 ℃× 180sec 注意：紧急救护措施（对于光刻胶） ①吸入：转移至空气新鲜处，必要时进行人工呼吸或就医。 ②皮肤接触：肥皂水清洗后自来水清洗。 ③眼睛接触：流动清水清洗 15 分钟以上，必要时就医。