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第四章热敏感与执行原理 热传感器与执行器概述 热传感器 热执行器 热传递的基本原理 基于热膨胀的传感器与执行器 热双层片基本原理 单一材料组成的热执行器 ■热电偶 热电阻器 应用 微传感器实例一热学 微执行器制动方式实例一热执行器  热传感器与执行器概述-热传感器 热传感器包括两种含义:用于测量诸如温度和热 等热学性质的传感器;(2)基于热传递原理的传 感器  热传感器与执行器概述一热执行器 微器件和结构的执行可以通过注入或抽走其中的 热量来实现。温度分布的变化通过热膨胀、热收 缩或者相变将导致机械位移或者力的输出。微结 构通过吸收电磁波、欧姆热、热传导和热对流的 热量,温度可以升高;而通过热传导散热、热对 流散热、热辐射散热以及有源热电制冷,微结构 的温度可以降低  热执行原理已用于商业的MEMS产品中。现在很多 喷墨打印机都是利用墨水的热膨胀来喷出墨滴 热喷墨打印机墨嘴的示意图如下图所示 喷出的墨 液体贸金物 衬底9加热器 区加 图喷墨打印机中墨滴喷射的原理  热传感器与执行器概述一-热传递基本原理 微尺度下原子的振动证明了温度的存在。当材料中存在温 度梯度时就会产生热传递。热量从一点传递到另一点有四 种可能的机制 1)传导,即当存在温度梯度时,热量通过固体媒介传递: 2)自然对流,即热量从表面传递到静止流体内部,流体里 的温度梯度通过浮力引起了液体的局部流动,流体质量的 运动促进了热传递; ■3)强迫对流,即热量传递到运动流体的内部,这种内部流 体运动比自然热对流引起的热传递要强 4)辐射,即通过真空或空气中传播的电磁辐射引起热量的 损失或增加  基于热膨胀的传感器和执行器 ■热膨胀是材料的普遍行为。温度上升后,由半导 体、金属、绝缘体材料构成结构的尺寸和体积都 会变大  基于热膨胀的传感器和执行器-热双层片原理 ■热双层片原理 对于传感和执行而 22 热双金属片效应是很 相同长度L 常用的方法。这种效 应可将微结构的温度 变化转变为机械梁的rπA +a△ 橫向位移。 L(H+e△A 图热双金属片弯曲(a1a2)  ■热双层片由在纵向上连在一起的两种材料构成 两种材料构成一个机械单元。它们有相同的长度, 但热膨胀系数〔CTE)不同.当温度均匀变化△T时, 两层的长度变化不一样。梁向热膨胀系数较小的 材料层一侧弯曲。横向的梁弯曲由此产生。 ■许多常用的机电恒温器都运用了这一原理。恒温 器是一个螺旋的双层金属线圈。卷丝梁的末端与 继电器连接在一起,继电器是含水银的密封玻璃 管。当环境温度变化时,线圈的末端倾斜并触发 水银滴继电器的移动,从而控制加热/冷却电路中 的电流。  表静电和热双层片执行的特点 静电执行 热双层片执行 低频时低功耗 较大的运动范围 优点 很快的响应速度同等位移下较小的覆盖 面积 较小的运动范围因电流产生欧姆热,工 缺点 作效率较高 需要大的面积和覆盖区|因时间常数受制于加热 以产生较大的力和位移和散热,响应速度较慢  例4.1 个双层片悬臂梁由不同长度的两层构成。上面一层 由铝制成(材料2),下面一层由氮化硅制成(材料1) 两层的宽度均为20um。A点到B点的长度为100um,从B电 到C点的长度也是100um.铝和氮化硅的杨氏模量分别为 为E2=70GPa、E1=250GPa。厚度是12=0.5m、t1=1um 热膨胀系为a2=25×10-°/C、a1=3x10°/C,室温下,悬 臂梁是直的。 相对于室温,梁均匀加热20℃,求悬臂梁的曲率半径(r) 以及自由端的垂直位移量。