一种电容式加速度传感器.docVIP

一种电容式 MEMS 线加速度传感器的设计 一． MEMS 以及传感器介绍 MEMS 即微机电系统 ,是在微电子技术基础上发展起来的多学科交叉的前沿 研究领域。经过四十多年的发展，已成为世界瞩目的重大科技领域之一。它涉 及电子、机械、材料、物理学、化学、生物学、医学等多种学科与技术，具有 广阔的应用前景。所谓传感器就是一种将能量从一种形式转变成另一种形式， 并针对特定可测量的输入为用户提供一种可用的能量输出的器件。以半导体技 术和微机电加工工艺设计、制造的 MEMS 传感器，集成度高，并可与信号处理 电路集成在一起，大大降低了生产成本，已在汽车、消费电子和通信电子领域 取得极大发展。 二． MEMS 加速度传感器特点和应用 随着微机械系统和微加工技术的发展，微型传感器也随之迅速发展。惯性 系统已广泛用于航天，航空，民用领域为目前各种航行体上应用的一种主要导 航设备，能够提供比较精确的姿态与多种导航信息。我们利用惯性敏感元件和 初始位置就可以确定载体的动态位置、姿态和速度。而加速度计作为惯性系统 的一个核心敏感器件，虽然较陀螺仪发明较晚，但是发展速度很快。因此，此 次对于 MEMS 加速度传感器的研究对于了解专业发展前沿和激发自己的学习兴 趣都有很大的帮助和意义。根据原理不同， MEMS 加速度传感器按敏感原理可 以分为压阻式、压电式、电容式、谐振式、热电藕式和隧穿式等几大类。