薄膜的制备1薄膜基础参考幻灯片.ppt

材料 物理 制备 基础;材料物理制备基础;二、薄膜的物理气相沉积;第四讲 薄膜的制备 一、薄膜基础知识; 极超薄膜 薄膜;3）薄膜的物性 i）通常的薄膜是多晶的（外延生长单晶）晶粒大小------几nm~几?m与块材相比是极小的； ii)薄膜的电阻比块材大很多； iii）光学特性：反射率随薄膜表面形态显著变化； iv）热传导性较小； v）机械性能：硬度比块材大的很多； vi）化学性质：耐腐蚀性能低下； ;i）通常的薄膜是多晶的（外延生长---单晶） 结晶生长主要是由在衬底表面核的形成和原子的扩散起主导作用，通常衬底温度较低所以晶粒较小。晶粒大小几nm~几?m与块材相比是极小的； 由于原子扩散不足，薄膜生长时引入了很多晶格缺陷。 薄膜生长时受到衬底的影响，容易形成垂直于衬底的细长柱状晶体。 ;SEM观察BST薄膜形貌;;ii)薄膜的电阻比块材大很多； 由于晶粒小，晶界多，晶格的缺陷多，对电子的散射强。 由于膜厚小于电子的平均自由程，表面的散射显著，这些都导致薄膜的电阻大于块材的电阻。 由于同样的原因，涡电流也较小。;iii）光学特性：反射率随薄膜表面形态显著变化； 表面平滑的薄膜比抛光后的块材有更高的反射率； 可见光可以透过厚度小于50nm的金属薄膜和带宽小的半导体薄膜。 由于薄膜的缺陷多，比块材的密度要小，所以薄膜的折射率比块材要小。 光的干涉较强