超精密的切削加工.pptVIP

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2021-01-03 发布于福建
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超精密的切削加工.ppt

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第3章超精密切削加工超精密切削加工主要是用高精度的机床和单晶金刚石刀具进行的加工。故一般称为金刚石刀具切削 (Simple point Diamond Turming, SPDT) 31超精密切削的历史 60年代初,由于宇航用的陀螺,计算机用的磁鼓、磁盘,光学扫描用的多面棱镜,大功率激光核聚变装置用的大直径非圆曲面镜,以及各种复杂形状的红外光用的立体镜等等各种反射镜和多面棱镜精度要求极高,使用磨削、研磨抛光等方法进行加工,不但加工成本很高,而且很难满足精度和表面粗糙度的要求。为此研究、开发了使用高精度、高刚度的机床和金刚石刀具进行切削加工的方法加工。经SPDT加工的光学元件成品示意图图中所示的各种形状的零件是去氧铜或铝合金材料 3.2超精密切削加工的应用平面镜的切削图3.11面镜剂方式加工平面镜图3.12工件安装在卡盘上一主轴:2一卡血:3一工件; 1一主糖;2一卡盘;2-工件;4一刀具:一瓶极刀具:5一酝:心一夹具 1)平面镜的切削平面度006 μm 表面粗糙度 Rmaxo. 2 uI 玻璃镜的切削 Spindle axis(Nose radius 200 u Fast tool servo Update pu st Tool serve DMA 测量结果 On-machine measurement result Section profile op Work: Soda lime glass o 30mm Circumference profile (2)多面镜的切削 ■激光印刷机、复印机。面分度精度75 面倾斜精度3.6“ 平面度0.07m ■表面粗糙度图3.1-3多而饞的加工机床 Rmax. 02 um 1-X-Y拖板;2一工件,2一您气轴承;4一Ⅲ真梅板 5一主螗冠动马达;6一金割石刀具 (3)球面镜的切削图3.1-4球面棱加工原m 士“图镜;I一厂具雅 (4)球面镜的切削 1,1-3抛物而!加 2一万具:3-x轴;4一立气轴 5一万杆;c一x粘探7一心轮