光电功能薄膜真空技术教学PPT课件.pptx

课程名称：光电功能薄膜技术（研讨）;薄膜有时与类似的词汇“涂层” （coating）、“层”（layer）、“箔”（foil）等有相同的意义，但有时又有些差别。;为什么需要薄膜;现代科学技术的发展，特别是微电子技术的发展，过去需要众多器件组合才能实现的功能，现在仅仅需要少数几个器件或一块集成电路板就可以完成。薄膜技术正是实现器件和系统微型化的最有效的技术手段。;薄膜的种类;反射膜 例如用于民用镜和太阳灶中抛物面太阳能接收器的镀铝膜；用于大型天文仪器和精密光学仪器中的镀膜反射镜；用于各类激光器的高反射率膜（反射率可达99%以上）等等。;4、机械薄膜： （硬质膜、耐蚀膜、润滑膜）;按制备方法分类;薄膜技术在电子学领域中的意义;薄膜技术在光学领域中的意义;光电功能薄膜技术（研讨）课程的目的;真空设备;;; Pressure unit ???? SI（System International）Unit 1 Pa（Pascal）＝1 Newton/m2 1 atm＝1.013×105 Pa＝760 mmHg 1 bar＝105 N/m2＝105 Pa ? Practical Unit 1 Torr＝1 mmHg 1 mTorr＝10－3 mmHg 1 Pa＝7.5×10－3 Torr 1 Torr＝133.3 Pa 1 bar＝105 Pa＝750 Torr 1 atm＝1.013×105 Pa＝760 Torr ;? 划分目的：为了研究真空和实际应用的便利；? 划分依据：按照各个压强范围内气体运动特征的不同进行划分；? 划分准则：理论上，可依据Knudsen数的不同进行划分;P (Pa);四) 真空在薄膜制备中的作用：抑制反应;例：计算在高真空的条件下，清洁衬底被环境中的杂质气体分子污染所需时间。假设每一个向衬底运动过来的气体分子都是杂质，且每一个分子都被衬底所俘获。 衬底完全被一层杂质气体分子覆盖所需要的时间为;真空的获得：就是所谓的“抽真空”！ ? 利用各种真空泵把容器内的空气抽出，使其内部压强保持在 1 atm的特定压强范围！ 获得真空的主要工具 ? 各种真空泵（Pump）！ 真空泵的分类;; 机械泵的定子和转子间存在影响抽真空的有害空间,泵的抽速随着压强降低而减小。为了减少有害空间的影响通常采用双级泵，双级泵由两个转子串连而成，其中一个转子的出气口为另一个转子的进气口，这样可以将极限真空的单极泵的1Pa提高到10-2Pa 机械泵油的??用非常重要，它起着很好的密封和润滑作用。泵油基本要求是低的饱和蒸气压，一定的粘度和较高的稳定性。但是普通机械泵对于抽走水蒸气等可凝气体有很大困难。当蒸气在腔内压缩，压强达到饱和蒸气压时，水蒸气就开始凝结成水，并与泵油形成一种悬浊液。不仅影响泵油的密封和润滑，还会造成泵壁生锈。 为此在气体尚未被压缩前，通过气镇阀渗入一定量的气体来帮助打开排气阀片，减少水气的凝结。气镇阀在抽气的起始阶段使用不会影响极限真空，但是到了一定程度后继续使用就会降低泵可以达到的极限真空 ;罗茨（Roots）真空泵;罗茨泵组成的真空机组的外形图 ;;涡轮分子泵;;; 扩散泵必须和机械泵联合工作，才能构成高真空抽气系统。单独的扩散泵时没有抽气作用的 理论上，扩散泵的极限真空取决于泵油的蒸气压。而且泵油必须具备很高的热稳定性和化学稳定性 扩散泵油在高温下接触一旦大气非常容易变质。即使时常温下，长期接触大气也会因为吸收水分而降低性能。因此扩散泵内应尽量保存良好的真空状态 扩散泵油易挥发，因此在进气口都有挡油的冷阱; 低温吸附泵;10-4 Torr to 10-11 Torr;溅射离子泵;钛升华泵 ; 钛升华泵的抽气机理是化学吸附。升华器升华的钛沉积在冷的泵体壁面上，形成新鲜的钛膜，对氮、氧和一氧化碳等活性气体有比较强烈的吸附作用,并形成氮化钛、碳化钛和氧化钛等稳定的化合物，但对惰性气体和甲烷几乎不吸附。钛膜吸附气体只能是单分子层的，在已吸附气体分子的位置上不能再吸附气体。因此，钛升华器必须不断地升华，使泵体壁面上不断地沉积新的钛膜，才能达到连续抽气的目的。;上表可以看出每一种真空泵都有一个工作范围，目前没有任何一种真空泵可以从大气压一直工作到接近超高真空的。 为此，必须将几种泵联合使用，如 机械泵、油扩散泵联合的有油系统和吸附泵、溅射离子泵、钛升华泵联合的无油系统;完整真空系统示意图;真空技术基础;;因此：P ? 时，气体稀薄化 ? 气体导热能力? ? Qg ? ? 相同灯丝电流下 Ql ? ? 热电偶温度 T ? ? 电压表上测得的热电势 V ? ? 特定气压范围内（102~10-1 Pa 间），成立：