薄膜定义及特性及其应用.ppt

薄膜的定义及特性及其应用;第一章 绪 论;§1.1 薄膜的定义及特性;薄 膜 的 制 备 技 术 ;;;薄膜材料的合成：可用各种单质元素及无机化合物或有机材料来制作膜，也可用固体、液体或气体物质来合成薄膜。 薄膜是不同于通常的气态、液态、固态和等离子体态的一种新的凝聚态物质，可为气相、液相和固相或是它们的组合。 薄膜与块体一样，可以是单晶、多晶、微晶、纳米晶、多层膜、超晶格膜等。 也可以是均相的或非均相的，对称的或非对称的，中性的或荷电的。;超晶格材料 ;本科程的研究对象;薄膜（thin film）;从表面科学的角度来说，薄膜物理研究的范围通常是涉及材料表面几个至几十个原子层，在这个范围内的原子和电子结构与块体内部有较大差别。 薄膜的制备，绝不是将块体材料（如金属）压薄而成的，而是通过特殊方法（物理气相沉积PVD、化学气相沉积CVD）制备的。 在真空薄膜沉积过程中，可以看成是原子量级的铸造工艺，它是将单个原子一个一个地凝结在衬底表面上（成核、生长）形成薄膜。 薄膜的原子结构类似于它的块状形式，但也发生了很大变化，不仅存在多晶、表面、界面结构缺陷态及结构的无序性，而且还有薄膜同衬底的粘附性等问题。;几个概念;薄膜的结构特征;能带理论 是单电子近似的理论 —— 把每个电子的运动看成是独立的在一个等效势场中的运动。;薄膜材料科学与技术研究内容;薄 膜 物 理 基 础;薄膜材料分