T∕CCGA 30003-2019 超纯三氟化氮.pdfVIP

ICS 71.100.20 G 86 团 体 标 准 T/CCGA 30003—2019 超纯三氟化氮 Ultra pure nitrogen trifluoride 2019 -10-29 发布 2020 - 0 1 - 29 实施 中国工业气体工业协会 发 布 T/CCGA 30003—2019 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 技术要求 1 4 试验方法 1 5 包装、标志、贮运及安全 4 6 安全警示 5 附录A （资料性附录） 切割气路流程示意图 6 附录B （规范性附录） 酸度（以HF 计）的测定 7 参考文献 9 I T/CCGA 30003—2019 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。 本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。 本标准起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、中国工业气体工业协会。 本标准主要起草人：郑秋艳、李翔宇、洑春干、孟祥军、孙秋丽、袁瑞玲、胡帅、曹红梅、宋芳芳。 II T/CCGA 30003—2019 超纯三氟化氮 1 范围 本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存 和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中 等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。 凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分 光腔衰荡光谱法 GB/T 6681 气体化工产品采样通则 GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 14194 压缩气体充装规定 气瓶安全技术监察规程 3 技术要求 超纯三氟化氮应符合表1的要求。 表1 技术指标 项目 指标 三氟化氮(NF) （体积分数），10-2 ≥ 99.999 3 四氟化碳(CF) （体积分数），10-6 ≤ 5 4 氮(N) （体积分数），10-6 ≤ 1