行业标准：T∕CCGA 30001-2019 超纯氨.docxVIP

ICS 71.100.20 G 86 团 体 标 准 T/CCGA 30001—2019 超纯氨 超纯氨 Ultra pure ammonia 2019-10-29 发布 2020-01-29 实施 中国工业气体工业协会 发 布 T/CCGA 30001 T/CCGA 30001—2019 T/CCGA 30001 T/CCGA 30001—2019 I I II II 目 次 前言 II 1 范围 1 2 规范性引用文件 1 3 技术要求 1 4 试验方法 2 5 标志、包装、贮运及安全 3 前 言 本标准按照GB/T 1.1-2009给出的规则起草。本标准由中国工业气体工业协会提出并归口。 本标准起草单位：苏州金宏气体股份有限公司、中国工业气体工业协会。 本标准主要起草人：金向华、许军州、洑春干、魏入铎、庄坤华、宋芳芳。 T/CCGA 30001 T/CCGA 30001—2019 T/CCGA 30001 T/CCGA 30001—2019 PAGE PAGE 1 PAGE PAGE 2 超纯氨 范围 本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料。 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 GB 190 危险货物包装标志 GB/T 3723 工业用化学产品采样安全通则GB/T 5099 钢质无缝气瓶 GB/T 5832.3 气体中微量水分的测定 第3部分：光腔衰荡光谱法GB/T 7144 气瓶颜色标志 GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨GB 15258 化学品安全标签编写规定 GB/T 16483 化学品安全技术说明书 内容和项目顺序GB/T 16804 气瓶警示标签 JT/T 617 危险货物道路运输规则气瓶安全技术监察规程 技术要求 产品质量 超纯氨产品的质量应符合表1的要求。 重金属含量 超纯氨重金属含量应符合表2的要求。 表1 超纯氨产品技术指标 项目 指标 -2 氨 （NH3） 纯 度 （ 体 积 分 数 ）/10 ≥ 99.99999 -6 氢 （H2） 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10 ＜ 0.01 -6 氧+氩（O2+Ar）含量（体积分数）/10 ＜ 0.01 -6 氮 （N2） 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10 ＜ 0.01 一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6 ＜ 0.01 -6 二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10 ＜ 0.01 表 1（续） -6 烃 （C1～C3） 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10 ＜ 0.01 水 分 (H2O) 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10-6 ＜ 0.05 总 杂 质 含 量 （ 体 积 分 数 ）/10-6 ≤ 0.1 表2 超纯氨产品重金属技术指标 重金属含量/10-6（质量分数） 气相 液相 锑 （Sb） ＜ 0.005 0.005 镉 （Cd） ＜ 0.001 0.001 钙 （Ca） ＜ 0.01 0.05 铬 （Cr） ＜ 0.001 0.005 钴 （Co） ＜ 0.001 0.001 铜 （Cu） ＜ 0.005 0.01 镓 （Ga） ＜ 0.001 0.01 碲 （Te) ＜ 0.005 0.01 铅 （Pb） ＜ 0.001 0.001 锂 （Li） ＜ 0.001 0.001 镁 （Mg） ＜ 0.001 0.005 锰 （Mn） ＜ 0.001 0.005 钼 （Mo） ＜ 0.001 0.001 镍 （Ni） ＜ 0.001 0.01 钾 （K） ＜ 0.001 0.001 硅 （Si） ＜ 0.01 0.05 钠 （Na） ＜ 0.005 0.01 锡 （Sn） ＜ 0.001 0.005 锌 （Zn） ＜ 0.005 0.01 试验方法 抽样、判定和复验 超纯氨产品应按表 1 中所有要求逐一气相检验并验收，当检验结果有任何一项指标不符合表 1 的技术要求时，则判该产品不合格。 超纯氨产品的重金属含量应每半年检验一次，除此之外，当工艺发生变更或有异常调整时应对重金属含量进行检验，可委托第三方检验机