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- 2021-01-13 发布于天津
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大小孔偏调整作业流程
一、 机台水平确认:
1.1 静态水平:之要求 ±0.02mm/m
1.2 动态水平:一般装机用之空跑程序
设定 UP,30mm
DN ,24mm Up及 Dn 的设定相差 6mm即可。
F(进刀速 ) :9m/min
U(退刀速 ) :25.4m/min
1.3 依下列顺序将水平螺丝锁紧
1→2→3→4→5→6→7→8→9→ 10
锁紧后以千分表量测每点的震动数据,建议调整震动于 20um以下。日立标准 (10um)
二、 Z 轴相关精度点检
2.1 压力脚之大小轴衬请使用原厂铜轴衬 ( 强烈要求 ) 。
2.2 Z 轴原点之确认针尖到轴衬底端 1mm±0.1mm(0.9~ 1.1mm相当重要 ) 。
2.3 SPINDLE 高度确认。
2.4 φ200 之精度要求± 50um ( 最佳状况态调整于± 30um以内)
2.5 确认压力脚 Cylinder 确认是否耗损。 将压力脚拆下后按 PF确认左右 Cylinder 上
下动作是否一致,如没有可调整 Cylinder 进出 air 量,如调整后仍不行则需更换左
右 Cylinder 。
2.6 确认压力脚之万向接头间隙。一般新品间隙在 30um以内,一般的要求在 200um以
内( 最佳状况 100um以内) 如超出请立即更换。
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2.7 压力脚平衡,左右公差± 50um以内。
2.7 PV CHECK 之确认大径及小径之相关要求如下
N TYPE 下降量 J,Z-45
Mb、Q TYPE 下降量 J,Z-5 ( 确认 ) J,Z-15( 测量 )
轴衬 \ 范围 最小值 最大值
标准轴衬 110(N) 150(N)
小径轴衬 60(N) 90(N)
钻针φ 0.1 ~0.15mm 80(N)
钻针φ 0.2mm以上 90(N)
标准轴衬请调整在 130(N) 左右,大厂 ( 皆加工 BGA板) 小径轴衬请调整在 75(N) 左右 ex
景硕、 PPT,代加工厂可调整在 85(N) 左右。
适用式样 参考值 容许值
单轴机 90Hpa ± 15 %
六轴机 100Hpa ± 15 %
集尘流量就以上参考值调整就可以
Ps.1. 请注意在测量时需将未测量轴数的轴衬用胶带贴起来 ( 模拟加工时状态 ) 。
2.QIC 大小径一定要用自动换针的模式切换 ( 不可用手动模式切换 ) ,因为会有压差的
问题。 ( 机台后方电磁阀不会自动切换,压力就会无法正确调整甚至无法调整 )
2.8 确认轴衬压痕,请以覆写纸方式量测。
将压力脚放下, Z 轴下降 J,Z-60.5mm ,看压出的图形是否平均受力, 大小径都要作,
如压出图形有受力不平均时请以砂纸将轴衬修正平整,最佳修正方式将 Z 轴下降适
当的压在砂纸上,在可移动砂纸但仍有阻力的状况下进行修正,之后再测量一遍直
到受力平均为止。
2.9 Z 轴螺杆间隙 10um内请以千分表架量鞍部,如超出甚多建议更换 Z 轴螺杆。
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