无尘室的原理 LCD培训教学PPT课件.ppt

什么是尘粒? 尘粒是微小的灰尘、悬浮的东西. 尘粒越小,其表面积的比例相对增加,并不遵从牛顿定律运动,按重力垂落.而是在空气中做不规则的运动,这种运动叫布朗运动. 因是悬浮的东西,而且做不规则的运动,在洁净化技术、产品制造中是令人头痛的代表物. 总之,尘粒会对产品成品率高低影响至关重要. 如:电腐蚀现象. 尘 埃 电腐蚀现象 IC側 尘粒(与空气中的微量水份结合在一起) 这样尘粒付着状态下通电的话,电流通过尘粒流向邻近的ITO中,会造成浅横线不良. 这种状态下继续使用 渐缓短路现象 (在通电状况下渐渐地腐蚀ITO,以至于最后造成ITO断线→电腐蚀现象) 电腐蚀: 在通电状况下ITO被电解而造成断线的现象 无尘室的原理 通过空调系统和净化装置把空气进行调湿、调温和过滤,然后把净化的空气通过无尘室的高效过滤器送入到无尘室内,达到洁净等级的标准. 通常: 温度: 22℃±3 ℃;湿度:55%±5%. 包括: 1. 空气调节系统; 2. 空气净化系统. 无尘室的类型 按洁净度和气流的状态的组合可以分为三种方式: 紊乱式无尘室; 水平平行流式无尘室; 垂直平行流式无尘室. 1.紊乱式无尘室( Conventional flow type CR): HEPA过滤器 空气调和器 进气口 排气口 HEPA:High Efficiency Particulate Air filter. 以玻璃纤维为主体的制成的高效过滤网 通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风. 无尘室的类型Ⅰ 1. 紊乱式无尘室( Conventional flow type CR): HEPA过滤器 空气调和器 多孔板进气口 无尘室的类型Ⅰ 无尘室的类型Ⅱ 空气调和器 照明 吹出口 2. 水平平行式无尘室( Cross flow type CR): HEPA过滤网 HEPA过滤网 HEPA过滤网 通过无尘室墙壁的高效过滤器出口向屋内送风.通过墙壁的排气口回风. 无尘室的类型Ⅱ 2. 水平平行式无尘室( Cross flow type CR): HEPA过滤网 点检空间 墙壁吸附口 空气室 无尘室的类型Ⅲ 3. 垂直平行式无尘室( Down flow type CR): HEPA过滤网 空气调和器 通过无尘室屋顶的高效过滤器出口向屋内送风.通过地板的排气口回风. 因通过整个屋顶的高效过滤器向下送风,故该类型无尘室的造价高于其他类型. 地板(吸附口) 无尘室的类型Ⅲ 3. 垂直平行式无尘室( Down flow type CR): HEPA过滤网 空气调和器 屋顶内空气室 地板下空气室 地板吸附口 无尘室的管理原则 四大原则: 杜绝把灰尘带入无尘室; 减少和防止无尘室中尘粒的产生; 清除无尘室中的灰尘; 监测环境参数. 原则-1 1. 杜绝把灰尘带入无尘室; 进入无尘室中的有: 空气; 人员; 设备; 材料等. 原则-1 1. 杜绝把灰尘带入无尘室; (一). 空气: (1).通过过滤网净化空气: 常用的过滤网:玻璃纤维和玻璃石棉等. 玻璃纤维:能过滤0.3 ?m的悬浮尘粒, 甚至达到0.04 ?m 的悬浮尘粒; 过滤效果:99.99% 玻璃石棉:根据石棉的的直径大小决定; 例:1 ?m 的石棉过滤1 ?m 的尘粒. 原则-1 1. 杜绝把灰尘带入无尘室; (一). 空气: (2).设定室内压力高于室外. 为了防止室外未过滤的空气通过缝隙或入口处进入到无尘室中,无尘室内要保持一定的静压. 无尘室中的空气压力一般要比室外高25 Pa左右. 原则-1 1. 杜绝把灰尘带入无尘室; (二). 人员: 进入无尘室的人员必须穿着无尘衣(包括手套、帽子、鞋、口罩), 用纯水洗手, 再通过风淋室进入无尘室. 参考资料 : 进退入无尘室手顺书 勇于开始，才能找到成功的路 临财勿苟得，临难勿苟免 * * * * 题目:无尘室的原理 内容简介: 无尘室的原理; 无尘室方式; 无尘室管理. 关键词:无尘室(Clean Room); 洁净度(Class); 无 尘 室 什么是无尘室(Clean Room): 用通俗易懂的语言来描述的话,无尘室就是在某个空间的空气中尘埃、微粒子控制在一定数值以下,把压力、温度、湿度、气流分布及其形状和速度控制在一定范围内为目的而建造的屋子. Clean Room简称为CR 洁 净 度 什么是洁净度(Class)? 就是指单位体