真空获得设备讲义 .pptxVIP

真空获得设备;真空：在给定的空间内，气体分子密度低于一个标准大气压的气体状态。 真空泵性能的表示方法：1）极限压力 2）抽气速率 3）流量 真空泵的分类： 1）气体输送泵 （1）变容积真空泵：液、油封式机械泵，干式真空泵，罗茨真空泵； （2）动量传输式真空泵（分子真空泵，喷射真空泵，扩散泵）。; 真空泵的技术术语和适用范围术语： 启动压力；前级压力；最大前级压力； 最大工作压力；压缩比；何式系数；抽气系数；返流率；水蒸气允许量；最大允许水蒸气入口压力。 各种真空泵工作压力范围;真空获得设备;真空泵在真空系统中的作用;;二、液环式真空泵;单作用液环泵抽气（能量转换）过程：; 能量转换2;真空获得设备;2.2.2液环泵的基本结构;内部进气口和排气口的改进( * 最重要的改进) ;锥体泵：采用上部进气和下部排气的结构 ;四、旋片式真空泵;4.2.1工作原理 旋片把转子、泵体、端盖形成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分。若转子按图中箭头方向旋转时，A空间容积增加，压力降低，气体经泵入口被吸入，此时处于吸气过程；B空间的容积减小，压力增加，处于压缩过程；C空间的容积进一步缩小，压力进一步增加，当压力超过排气压力时，压缩气体推开泵油密封的排气阀，处于向大气的排气过程。在泵的连续运转过程中，不断进行吸气、压缩和排气过程，从而达到连续抽气的目的。 旋片泵工作原理图;1－泵体； 2－旋片； 3－转子； 4－弹簧； 5－排气阀;1－滤网；2－进气管；3－压板；4－排气阀；5－旋片；6－弹簧；7－转子；8－放油螺塞；9－油标；10－排气孔；11－皮带轮；12－轴端密封圈；13－气道; 旋片泵在结构上可分为油封式和油浸式两大类。油封式结构是指油箱设置在泵体上，泵油起到密封排气阀的作用，泵体靠水冷或风冷。一般大泵多采用这种结构形式。油浸式结构是将整个泵体浸在泵油中，泵油起到密封和冷却作用。小泵和直联泵多采用这种结构。 旋片泵结构简图;真空获得设备;真空获得设备;真空获得设备;真空获得设备;真空获得设备;五、滑阀式油封机械泵;真空获得设备;真空获得设备;真空获得??备;真空获得设备;真空获得设备;图5－5双缸滑阀泵的平衡;六、罗茨式真空泵;真空获得设备;真空获得设备;真空获得设备;真空获得设备;真空获得设备;七、油扩散泵; 可靠性和维修方便等特点，因此它成为一种量面大面广的获得高真空和超高真空的真空泵。油扩散泵除了在一般工业中有广泛的应用外，特别适应于那些要求对大工作室（大的被抽容器）进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在处理过程中放出大量气体的工艺过程。例如，真空冶金、真空热处理设备及真空镀膜设备等。 ;真空获得设备;真空获得设备; 在图12－2中的锅炉1内装有工作介质（泵油）6，并用电热器4加热使之沸腾蒸发而产生油蒸汽。由于泵内已经预抽真空，压力较低，故泵油可以在较低温度下蒸发。油蒸汽经导流管2进入伞形喷嘴3，油蒸汽经过喷嘴将压力能转化为动能，形成高速蒸汽射流。当油蒸汽呈锥环状（见图12－2aa－bb断面）从伞形喷嘴以超高音速喷出后急剧膨胀，其速度逐渐增大，压力及密度逐渐降低，射流中气体分子的浓度非常低。射流上面的被抽气体因密度差很容易扩散到射流的内部，并与工作蒸汽分子碰撞，在射流方向上得到动量，从而被蒸汽射流携带到水冷的泵壁处（b－b′）。在b－b′处，工作蒸汽大部分被冷凝成油滴沿泵壁流回油锅中;真空获得设备;八、油扩散喷射泵; 较大的抽速。因此，油扩散泵除用作主泵外，还可以用到大型油扩散泵的出口处，来增加其出口压力，使前级机械泵能有效地工作，故称其为有增压泵。油扩散泵与油扩散泵相比，不同点仅在于性能曲线的有效工作范围不同而已。虽然两者的结构和应用有所不同，但抽气的基本原理没有多大的区别。 油扩散喷射泵目前广泛用于真空感应炉和真空电弧炉、电容器的真空干燥和浸渍、真空蒸馏等设备上。;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;九、低温泵;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;十、溅射离子泵;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;东北大学首期《真空技术》培训班系列教程;