00074-激光薄膜损伤阈值的检测.pdfVIP

几种光学薄膜激光损伤阈值测量方法的介绍与探讨 1.前言 光学薄膜现在已经成为各个光学元器件不可或缺的部分， 随着高 功率激光器件的发展， 由于光学薄膜相对于其他光学元件一般具有比 较低的激光损伤阈值， 因而光学薄膜成为了高功率器件限制功率提高 的瓶颈所在， 因此提高薄膜的激光损伤阈值显得极为重要。 然而要想 提高薄膜的激光损伤阈值， 准确的测量薄膜的激光损伤阈值成为了当 前亟需解决的难题。本文系统的总结了 1-on-1、S-on-1、R-on-1 和光 栅扫描四种测试方式，以及 normaski 相称显微镜观察、等离子体闪 光判别等几种判断薄膜损伤方法的原理。 可为薄膜激光损伤阈值的测 试提供参考与借鉴。 2.几种损伤阈值测量方法的介绍 当前主流的测量方式有 1-on-1、S-on-1、R-on-1 和光栅扫描四种 方式。其测试设备均如图一 [ 1] 所示，只是在激光辐照到样品表面时而 采取不同的方式。 图一 激光损伤阈值测量光路 激光器发出强激光用来作为损伤光， 玻片与偏振片共同构成 2 衰减器， He-Ne激光器所发出的光作为准直光使用，聚焦透镜使得光 斑聚焦到合适的大小，分光镜将光分为三束，其中一束通向样品，一 束通向能量计以时时监测能量值，另外一束通向 CCD以确定光斑大 小。 2.1 1-on-1 测量方法 [2] 采用不同能量密度的激光依次对样品上一排点进行辐照， 每个点 辐照一次， 为了保证各个点之间不相互影响， 应使得两个点之间的距 离为样品表面处理光斑直径的 3 倍以上（如图二） ，辐照完后计算出 该功率下的损伤几率， 然后用相同的方法进行下一个功率的辐照。 得 出各个功率密度分别对应的损伤几率（必须包含 0 损伤几率与 100% 损伤几率）后，利用最小二乘法原理，对数据进行线性拟合，进而得 到损伤阈值。 图二 样品的测试点分布 该种方法应用较为普遍， 它得到的损伤阈值也较为准确， 但是该 方法测量面积较大， 且不能得到阈值分布， 对于重频激光来说必须考 虑激光辐照的累积效应 [ 3] ，该测试方法也不能满足。 2.2 S-on-1 测量方法 采用不同能量密度的激光对样品上的一排点进行辐照， 每个点辐 照 S （可以为1,10,100,1000等）次 （若不到S 次就发生损伤则应立即 移动至下一个测试点） ，为保证各个点之间不相互影响，应使得两个 点间的距离为样品表面处光斑直径的 3 倍以上，辐照完后计算出该功 率下的损伤几率， 然后用相同的方法进行下一个功率的辐照。 然后同 1-on-1 方法拟合出功率密度与损伤几率的关系，进而得到损伤阈值。 该方法相对来说更加符合日常实际情况， 所以也是一种比较常用 的测量方法。同 1-on-1 法，该方法也无法得到阈值的分布情况。