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第十一章半导体材料
制备
生长技术
•体单晶生长技术
• 单晶生长通常利用籽晶在熔融高温炉里拉伸得
到的体材料，半导体硅的单晶生长可以获得电
子级（99.999999% ）的单晶硅
•外延生长技术
• 外延指在单晶衬底上生长一层新单晶的技术。
• 新生单晶层的晶向取决于衬底，由衬底向外延
伸而成，故称“外延层”。
晶体生长问题
• 生长热力学
• 生长动力学
• 生长系统中传输过程
11.1 体单晶生长
• 结晶过程驱动力
• 杂质分凝
• 组分过冷
结晶过程驱动力
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