离子注入技术的发展和在材料方面的应用.pdfVIP

.专业整理 . 离子注入技术的发展 及其在材料方面的应用 .学习帮手 . .专业整理 . 摘 要 离子注入是一项新兴的材料表面改性技术。 它可以使材料表面的 机械、物理、化学、电学等性能发生变化。有效地提高材料表面的硬 度以及耐磨擦、 耐磨损、抗腐蚀、抗疲劳等能力， 延长材料使用寿命， 增加经济收益。 本文介绍了离子注入的基本原理以及技术特点， 描述 了离子注入在金属材料表面改性、 半导体材料以及超导方面的技术应 用，并展望了离子注入的应用前景。 关键词： 离子注入；材 料；表面改性；半导体；超 导 .学习帮手 . .专业整理 . 一、绪 论 离子注入技术于七十年代初首先成功地应用于半导体工业， 成为制备大规模 集成电路必不可少的手段之一。 八十年代起人们把离子注入技术开始用于金属材 料的表面改性。 由于该项技术本身的独特优点、 良好的改性效果以及潜在的巨大 经济效益，近年来吸引了愈来愈多的研究者开始从事该项技术的开发研究。 日前， 随着应用围的日益扩大和理论研究的不断深入，离子注入技术日趋成熟。 近年来离子注入的方式也更加多样化， 除了常规离子注入外， 由此派生出的 其它注入方法有：反冲注入、动态反冲注入、离子束混合等。注入方式的多样化 完善了注入实验手段， 使人们对各种具体情况可以选择恰当的注入方式， 以满足 不同的要求。 在实际应用中，很多方面都需要固体材料有较好的表面性能，如耐腐蚀性， 抗磨损性，较高的硬度和抗氧化性等，而这些性能都直接与固体材料表面成分， 结构组态，化台物相等有关，离于注入技术是最重要的手段之一。 离子注入技术应用于金属材料的改性， 从碳素工具钢、 硬质合金刚到人造或 天然金刚石制造的量具、刃具、刀具、模具和工件等，通过表面改性，可提高使 用寿命。经离子注入后，材料 ( 或工件 ) 韵表面硬度、耐磨损性能、抗腐蚀能力及 使用寿命等， 一般可提高几倍到十几倍。 目前，离子注入已经发展成为一门核技 术与金属学之间新兴的边缘学科——“离子注入冶金学” (Ion Implantation Metallurgy) 。各发达国家都十分关注这门学科的发展和应用。 二、关于离子注入的简单介绍 （一）离子注入的定义 离子注入是利用某些杂质原子经离化后形成带电杂质离子， 离子经过一定的 电场加速，直接轰击靶材料实现掺杂或其他作用。 一般的说 , 离子能量在 1－5KeV 的称为离子镀；0.1-50KeV 称作离子溅射；一般称 10－几百 KeV的称为离子注入。 注入到材料中的离子具有很高的能量， 足以使注入层的化学组分和原子结构发生 变化，这样使得材料表面的机械、物理、化学、电学等性能也随之改变．从而达 到材料表面改性的目的。 简单地说，离子注入的过程，就是在真空系统中，用经过加速的，要掺杂的 原子的离子照射（注入）固体材料，从而在所选择的（即被注入的）区域形成一 .学习帮手 .