传感器原理及应用：第八章 气体传感器.pptVIP

8.1 概述 8.2 气体传感器主要参数与特性 灵敏度 响应时间 选择性 稳定性 温度特性 湿度特性 电源电压特性 气体浓度特性 初始稳定、气敏响应和恢复特性 8.3 半导体气体传感器 图 8?1 n型半导体吸附气体时的器件阻值变化 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 SnO2系气敏元件 工作原理 结构形式 烧结型SnO2气敏元件 a.直热式SnO2气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 b.旁热式SnO2气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 c.厚膜型SnO2气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 d.薄膜型SnO2气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 e.超微粒薄膜SnO2气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 ZnO系气敏元件 1.烧结型ZnO气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 2.薄膜型ZnO气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 3.多层式ZnO气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 其它半导体氧化物气敏元件 WO3系气敏元件 8.3.2 表面电阻控制型气体传感器 非晶态SiO2 8.3.3 体电阻控制型气体传感器 氧化铁系气敏元件 γ—F