北方微调试方案.doc

微电子装备楼等4项工程项目 洁净空调系统 调试方嗓 编制： 审核： 批准： 中国电子系统工程笫四建设有限公司 北方微电子项目部 2011年4月 目录 TOC \o 1-5 \h \z 一、 系统概况 2 二、 调试依据 2 三、 测试流程 3 四、 调试测试 4 单机试运转 4 坏境保洁 4 空吹 4 系统总风量测试方法： 4 风平衡调整 5 洁净区静压差测试 6 洁净度测试：（静态） 7 洁净区照度测试 9 洁净区噪声测试 10 口 u中电四公司 微电子装备楼等4项工程项目洁净空调系统调试方案 一、系统概况 微电了装备楼4项工程项目洁净区在1#建筑一层，洁净区面积大约8000余平方米，分为东 区和西区两部分。 洁净区分为4个级别。 东区：J5级区域：P108检测区； J6级区域：P110 PVD区、P112刻蚀区、P115净化清洗区、P119 LED清洗包装区、 P117a LED刻蚀区、P117b LED黄光区; J7级区域：P120b净化走道; J8级区域：P120a净化走道、P102更衣间、P122净化仓库、P123研发试验区、 P121机电装配区、P130大型零件来料区、P129 RF LAB； 洁净空调形式： MAU （JK-1/2） +FFU （424 台）+DCC （47 台）,服务于 J5、J6 级区域; MAU （JK-1/2） +RCU （12 台）+HEPA （148 台），服务于 J7、J8 级。 西区:J7级区域:P101制绒/清洗/刻蚀/去PSG； J8级区域：P102扩散间、P103扩散灰区、P105 PECVD区、P106丝印烧结、P107包 装区、P108 PECVD设备组装试验区 洁净空调形式： MAU （MAU-1/2） +HEPA （20 台），服务于 J7 级区域； MAU （MAU-1/2） +HEPA （20 台）、RCU （9 台）+HEPA （68 台），服务于 J8 级（除 108 外）区域； AHU （AHL-1/2） + 球星喷口（38 台）、RCU （4 台）+ 球形喷口 （19 个），服务于 P108 房间。 非洁净空调系统： 两台AHU机组（K-1/2），服务于一次更衣间、换鞋间、预留净化区、非净化仓库、大 型设备放置区、周转卸货区、门厅、值班室、办公室、参观走廊等区域 二、调试依据 2006-01-10GB50243-2002GBJ50073-2001《微电子装备楼等 2006-01-10 GB50243-2002GBJ50073-2001 《通风与空调工稈施工质量验收规范》 《洁净厂房设计规范》 三.测试流程 调试准备 r拆除机组临时固定件 人清洁机组内部 单机试运转1 单机试运转 1 坏境保洁 认检查风机电机的「?作电流 九初效过滤器加无纺布保护 洁净区回风口加无纺布保护 打开系统全部风阀 点动检查风机转向 、调试测试 1.单机试运转 厶首先拆除机组的临时固定间，并对机组功能段内部进行清洁处理，检查风机箱内 是占有异物。 丄 开启系统上全部风阀，包括机组风阀、电动风阀、防火风阀、末端的全部风阀。 在机组的初效过滤器以及所有末端冋风口处安装无纺布对系统进行保护。 丄 能够进行手工盘动的传动机构应先手盘检杳，确认旋转无阻碍。 亠 点动确认风机转向正确。 亠 将机组风机逐步提高到工频（50Hz）,检杳风机的工作电流并对着机组铭牌进行检 查。需注意开启时间不应过长，且开启时最低工作频率不低于25Hzo 丄单机试运转前丿应对洁净区环境进行彻底保洁。 2.环境保洁 丄 对洁净区以及冋风夹道内的环境要彻底保洁。 3.空吹 厶MAU、AIIL\ RAU以及全新风系统的JK机组等同时以30~40IIz的频率下运行。 亠 空吹时间建议不低于48小时 丄 检查系统阀门的开启状况，同时对房间的压力情况进行监视，避免房间的静压过 大对壁板或顶部造成损害，对于静压过大的房间须打开房门泄压。 对无风的送冋风口进行处理。 丄空吹完成麻安装高效过滤器滤芯及FFU 系统总风量测试方法： 丄总风量测试前再次确认系统阀门的状态： 对于全新风系统上所有的阀门都应处于全部开启状态； 对于循坏机组系统的新风阀开启度调整到60^70%的程度，系统上其他阀门均处于 全部开启状态。 丄采用热球式风速仪在各机组的主干管的直管段上对风速进行测试，换算成总风量。 测试点尽量避开弯头、三通、阀门等阻力元件，避免紊流对风速的煤响因索。 丄 测试操作方法见卞示意图 T管内风速测试示意图 丄风量换算： 通过风管截面的风量L(m3/h)可按下式确定: L=3600FV 式中：F——风管截面积(m2); V一测定截面内的平均风速(m/s ) 亠 实测系统总风量谋芳不得超过设计总风最的± 10亂 丄 总风杲调整通过调整风机