整理MEMS加速度传感器的原理与构造.pptx

微系统设计与应用加速度传感器的原理与构造班 级：2012 机自实验班指导教师：xxx 小组成员：xxxxx 大学机械工程学院二 OO 五年十一月1摘要摘 要随着硅微机械加工技术(MEMS)的迅猛发展,各种基于 MEMS 技术的器件也应运而生,目前已经得到广泛应用的就有压力传感器、加速度传感器、光开关等等,它 们有着体积小、质量轻、成本低、功耗低、可靠性高等特点,而且因为其加工工艺一定程度上与传统的集成电路工艺兼容,易于实现数字化、智能化以及批量生产,因 而从问世起就引起了广泛关注,并且在汽车、医药、导航和控制、生化分析、工业 检测等方面得到了较为迅速的应用。其中加速度传感器就是广泛应用的例子之一。 加速度传感器的原理随其应用而不同，有压阻式，电容式，压电式，谐振式等。本 文着手于不同加速度传感器的原理、制作工艺及应用展开，能够使之更加全面了解 加速度传感器。关键词：加速度传感器，压阻式，电容式，原理，构造I目录目 录1 压阻式加速度传感器 .................................................... 31.1 压阻式加速度传感器的组成 .............................................. 31.2 压阻式加速度传感器的原理 .............................................. 31.2.1 敏感原理......................................................... 41.2.2 压阻系数......................................................... 51.2.3 悬臂梁分析....................................................... 61.3 MEMS 压阻式加速度传感器制造工艺........................................ 71.3.1 结构部分 ......................................................... 71.3.2 硅帽部分....................................................... 91.3.3 键合、划片 ...................................................... 102 电容式加速度传感器.................................................... 102.1 电容式加速度传感器原理................................................ 102.1.1 电容器加速度传感器力学模型 ...................................... 102.1.2 电容式加速度传感器数学模型 ...................................... 122.2 电容式加速度传感器的构造.............................................. 132.2.1 机械结构布局的选择与设计 ........................................ 132.3.2 材料的选择 ...................................................... 152.3.3 工艺的选择 ...................................................... 162.3.4 具体构造及加工工艺 .............................................. 173 其他加速度传感器...................................................... 183.1 光波导加速度计........................................................ 183.2 微谐振式加速度计 ...................................................... 183.3 热对流加速度计 ........................................................ 193.4 压电式加速度计 .......................................