sem-操作使用手册.pdf

Zeiss Supra55(VP)扫描电子显微镜 简明操作指南 一、开机说明 冷启动步骤 1、 启动 UPS 打开墙上空气开关，确认 UPS后面电池开关打开，按前面面板上 On 键至两个绿灯亮。 2 、 启动循环水冷机。 按 On 键，确认水泵 1 和制冷指示灯亮。 检查出水口压力在 2 ～ 3bar 。出水口压力可由压力表下方阀门调节。 若有报警，检查水位，按 Res键。 3 、 启动空气压缩机。 确认空气压缩机上启动阀门上开关为“ I”状态。检查输出气压为 5～6bar 。 4 、 确认主机后两个电源开关状态为 On 。 此时，主机前面板上红灯亮。 5 、 按下黄键。 说明： 前级真空泵进入工作状态，分子泵、潘宁计和离子泵自动顺序启动。 6 、 按下绿键。 按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码： 7 、 启动 SmartSEM 软件。 用户名： system 密码： 8 、 检查真空值，等待真空就绪。 注意： 当 System Vacuum<2 ×10-5 mBar 时，会自动打开 CIV 阀门 (column isolation valve) ，并启动离子泵。 当 Gun Vacuum=<5 ×10-9 mBar 时，可启动灯丝。若长期停机，需做烘烤。 9 、 开启灯丝。 10、开 TV ，检查样品台。 11、装样品 (见第二部分 ) 。 12、加高压 (EHT)。 13、观察样品。 待机状态 1、 关闭高压 (EHT)。 2 、 关闭 SmartSEM 软件。 注意： 分两步，先关用户界面 User Interface ，后关后台程序 EM Server 。 3 、 关 Windows 。 4 、 必要时，关能谱、 EBSD。 5 、 按下黄键 此时，电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。电镜真空系统和灯丝继续工作。 待机状态启动 1、 按下绿键。 按下绿键后，电脑会自动启动，输入计算机密码： 2 、 启动 SmartSEM 软件。 用户名： system 密码： 3 、 检查真空值。 4 、 换样或加高压观察样品。 关机步骤 1、 关高压 (EHT)和灯丝。 2 、 关 SmartSEM 软件。 注意： 分两步，先关用户界面 User Interface ，后关后台程序 EM Server 。 3 、 关 Windows 。 4 、 关能谱、 EBSD。 5 、 按下黄键，等待～ 10 秒钟。 等待电子光学系统、样品台及检测系统电源关闭。 6 、 按下红键。 7 、 关循环水冷机。 8 、 必要时，关氮气总阀门。 9 、 必要时，关 UPS。 10、 必 要时，关墙上空气开关。 烘烤步骤 1、 确认高压 (EHT)和灯丝关闭。 2 、 拨出高压电线。 先松开四颗螺丝，拔出高压头。 3 、 打开监控软件 Gun Monitor 。 设置监控 Gun Vacuum 和 System Vacuum 参数，时间间隔 1s。 4 、 开始烘烤 菜单栏 Tools→go to panel → bakeout ，打开 Bakeout 界面，设定加热时间 8 ～20h ，冷却时间设为 2h ，开始。 5 、 烘烤完成 结束后检查枪真空值，一般小于 1× 10-9mBar 。关闭 Gun Monitor 。插入高压头，锁紧。 二、换样品 1、 装试样。 在备用样品座上装好样品，并记录样品形状、编号和位置。 注意： 各样品观察点高度基本一致。确认样品不会脱落，并用洗耳球吹一下。 2 、 关高压。 3 、 检查插入式探测器状态 打开 TV，将 EBSD等插入式探测器拉出。 4 、 放气。 点 Vent 等待～ 分钟。 注意： 确认 Z move on vent 选上，这样，放气时样品台会自动下降。 5 、 拉开舱门。 注意： 拉开舱门前，确认样品台已经降下来，周围探测器处于安全位置。 6 、 更换样品座 注意： 抓样品座时戴手套，避免碰触样品。 7 、 关上舱门。 注意： 舱门上 O