微机械及其微细加工技术 .pptx

一、 引言 随着微／纳米科学与技术 (Micro/Nano Science and Technology)的发展，以本身形状尺寸微小或操作尺度极小为特征的微机械已成为人们在微观领域认识和改造客观世界的一种高新技术。 ;3.6 微机械及其微细加工技术; 微机电系统的概念始于20世纪80年代，一般泛指尺度在亚微米至亚毫米范围内的装置。在不同国家和地区有不同的术语和解释： 美国称作 Micro Electro-Mechanical System - MEMS（微型电-机系统） 微型电-机系统是由电子和机械组成的集成化器件或系统，采用与集成电路兼容的大批量处理工艺制造，尺寸在微米到毫米之间。;在欧洲则称作Micro System（微系统） 是指具有微米级结构，可以批量制作的、集微型机构、微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路、甚至外围接口、通信电路和电源等于一体的微型器件或系统。 在日本称作Micro Machine（微机器） 微机器由只有几毫米大小的功能元件组成，它能够执行复杂、细微的任务。;3.6 微机械及其微细加工技术;;3.6 微机械及其微细加工技术; 由于微机电系统的基于微电子技术的背景（从微机械的加工方法来看，它主要起源于硅集成制造技术），使其具有集成电子器件所具有的微小、可靠、灵敏、低耗、高效、成本低、适于大批量生产等系列优点。 ; 微机械具有以下几个基本特点： 1.体积小(特征尺寸范围为lnm～10mm) ，精度高，重量轻，惯性小。 2.性能稳定，可靠性高。 微机械器件体积极小，封装后几乎可以摆脱热膨胀、噪声和挠曲等因素的影响，具有较高的抗干扰性，可以在比较恶劣的环境下稳定工作。;3.能耗低，灵敏性和工作效率高（响应时间短） 。 完成相同的工作，微机械所消耗的能量仅为传统机械的十几或几十分之一，却能以数十倍以上的速度运作。微机电系统不存在信号延迟等问题，从而更适合高速工作。 4.多功能和智能化。集约高技术成果，附加价值高。 5.适于大批量生产，制造成本低廉。;具有以下一般机械所不能及的优势： 1.表现在活动空间、操作对象和工作环境上。 微机械能够进入极狭小空间进行作业，且不易对环境造成不必要的影响与破坏。微机械还可以面对很脆弱、易损伤的工作对象。微机械还可出现于人类所不能及或不适宜的工作环境。 ;2.与一般机械相比，微机械所表现出的智能化程度更高、实现的功能更趋于多样化。 国外一些有实力的半导体公司和研究机构对微机械的研究非常重视，已研制开发出许多有特色的产品。; 目前，微机械的研究正在从基础研究逐步迈向研制开发与实用阶段。许多微传感器、微执行器以及微光学部件已经在某些行业得到应用。 ;3.6 微机械及其微细加工技术;3.6 微机械及其微细加工技术;3.6 微机械及其微细加工技术;3.6 微机械及其微细加工技术;3.6 微机械及其微细加工技术;3.6 微机械及其微细加工技术;3.6 微机械及其微细加工技术;二 微型机械发展现状及展望 1. 微型仪器 微型仪器实际上就是具有仪器功能的MEMS产品，是MEMS技术与微电子技术综合集成的产物。它具有一般仪器具有的监测、测量、分析、诊断、控制和执行功能，是一种新型的智能结构。其基本结构模式为： 微传感器+信号和数据处理电路（含控制软件）+外显示器或微执行器 ;(1) 微光谱仪 (2) MEMS显示器 美国Texas Instruments研究用于投影显示装置的数字驱动微镜阵列芯片（Digital Micromirror device-DMD）。已成功利用768×576像素的DMD芯片制出彩色电视投影仪。DMD芯片利用硅表面微加工工艺制作，一个微镜的尺寸仅16um×16um。 (3) 微型化学传感器及微型粘度仪 利用微机械薄膜（厚度仅3um）对化学分子的吸收，改变薄膜的体积，导致性能发生改变。;2. MEMS在医疗和生物技术领域的应用 生物细胞的典型尺寸为1～10um，生物大分子的厚度为纳米量级，长度为微米量级。微型器件尺寸也在这范围之内，因而适合操作生物细胞和生物大分子。另外，临床分析化验和基因分析遗传诊断所需要的各种微泵、微阀、微镊子、微沟槽、微器皿和微流量计等。;3.6 微机械及其微细加工技术;3.6 微机械及其微细加工技术;3. MEMS在汽车工业的应用 汽车内安装的微型传感器已达几十个，用来传感气囊、压力、温度、湿度等的情况，以及进行智能控制。其中用于制导、卫星控制的微惯性传感器及微型惯性测量组合在汽车中可用于自动驾驶、防撞气囊、防报死系统（ABS）等。 微型压力传感器：检测发动机进气管压力，微机据此控