光纤测量有关微位移测量.pdfVIP

高精度光学测量微位移技术综述 摘要：光纤测量技术由于自身具有分辨率高而且测量范围大的优势，使其的 应用越来越重要和广泛。本文综合概述了光纤测量技术的基本原理，以及几 种光纤测量的方法及特性和相关的应用。并于传统的非光学检测进行比较， 进而得出光纤测量技术的优势以及未来的发展方向。 关键字：光纤测量技术；测量方法特性；发展方向；应用 0 引言 随着光纤技术理论的不断深化，光纤制造工艺日臻完善，各种类型的光纤元 器件逐步商品化，为光纤测试技术的发展奠定了理论基础和物理基础。由于光纤 有良好的传光特性（对光波的损耗目前可低达 0.2dB/km ），有比微波高6 个数量 级耳朵宽频带，再加上光纤本身就是一种敏感元件，光在光纤中传输时振幅、相 位、偏振态等将随着检测对象的变化而变化。因此，用光纤制作的传感器与传统 的各类传感器相比具有一系列的独特优点，如低损耗、体积小、重量轻、耐腐蚀、 成本低等，广泛应用于国防军事、航空航天、计量测试等各种领域。 1 光纤测量技术概述 光纤测量技术在计量测试中有广泛的应用，按光学原理不同，光学测量技术 可分为激光三角测量、光杠杆法、光栅尺测量法、光纤位移测量法和激光干涉法 等，测量分辨力在几十皮米到几纳米之间。衍射效应进行位移测量的 X 射线干涉 技术近来年备受关注[1]，其最大特点是以晶格结构中的原子间距作为溯源标准， 可实现皮米量级的高分辨率，减小了光学干涉仪的各种非线性误差，但它普遍用 于金属研究和材料测试的常规方法。电学根据原理不同可以分为电容测量、电感 测量、扫描探针测量。其分辨率在零点几到几纳米之间而且范围广泛。 2 光学检测 2.1 激光三角测量 在激光三角法中，由光源发出的一束激光照射在待测物体平面上，通过反射 最后在检测器上成像。当物体表面的位置发生改变时，其所成的像在检测器上也 发生相应的位移。通过像移和实际位移之间的关系式,真实的物体位移可以由对 像移的检测和计算得到。激光三角法的框图如图 1 所示。其中，Α是投影光轴与成 像物镜光轴的夹角；Β是光电探测器受光面与成像物镜光轴的夹角，而 s 和 s 分 别是物距和像距,d 是传感器上的成像点的偏移，而∆为实际的物体表面的偏移。 系统的相关参数为：偏置距离 D 为从传感器到被测表面参考点的距离；测量范围 为最大能检测到的物体表面的偏移，即 的最大值；测量精度，传感器的最 小测量单位；分辨率一般指测量的纵向分辨率，为测量精度和测量范围之比；横 向分辨率为待测物体表面上所取测量点的最小间距。 图 1 激光三角法的原理框图 为了实现完美聚焦，光路设计必须满足斯凯普夫拉格条件；成像面、物面和 透镜主面必须相交于同一直线，如图 1 中X 点所示。系统的非线性的输入输出函 数为： ds sin   = (1) s`sin   d sin(   ) 又可以写为： dA   (2) B  d s sin  sin  其中：A  ，B  为三角测量系统的固定参数。当物体偏移 sin(   ) sin(   )  较小时，(1)式可以近似为线性关系： ds sin    (3) s`sin  激光三角法的另一项重要的参数为线性度，就是三角测量法输入和输出的关 系的线性近似程度。可以证明，在三角测量中，可以通过缩小测量范围，