椭偏仪测折射率和薄膜厚度新.pdf

1 实验背景与原理 主要 内容 2 实验仪器与内容 3 实验总结、探讨与应用 ——实验背景与原理 实验背景 1 椭偏光谱学是一种以椭圆偏振光测 量为基础的光谱技术，测定的是光波与 样品相互作用，发生反射、透射或散射 后偏振状态(振幅、相位) 的变化，用以 研究表面和薄膜的一种光学技术。 实验背景 1 1669年, 丹麦的Barrolinus教授首次 发现方解石晶体能折射出二束光 实验背景 1 1868 年,苏格兰的科 学家Brewster 发现了著 名的Brewster 反射定律; 布儒斯特（David Brewster） 1781年—1868年 实验背景 1 在同一时期，法国天文学家Arago发现太阳 光呈部分偏振态。 实验背景 1 Yang 提出了光波是横波的假设; Fresnel推导出光的反射与折射定律; Maxwell建立了光波的电磁学理论。 拉曼光谱学的建立 1901年, Drude教授在出版的书 《Theory of Optics.》中描述了第一部以人眼作探测器的 椭偏装置。 1969年, Cahan和Spanier首次报道了自动 旋转检偏器式的椭偏仪。 实验背景 1 我国在二十世纪70 年代初,在著名物理学 家黄昆院士的建议下, 莫党教授等开展椭偏光 谱的研究。上世纪70 年代中期,由莫党教授 黄昆 中国科学院院士 莫党 等设计制造了我国第一 中国半导体技术奠基人 中山大学教授 （1919-2005） 台椭偏仪TP75型。 当光波在两种不同的光学媒质界面上发生 反射或折射时,其偏振态将发生改变。这种变 化的原因是由于与入射面平行和垂直的二束线 偏振光分别有不同的菲涅尔反射或透射系数。 反射椭偏光谱是研究表面和薄膜的重要手段。 实验背景 1 线偏振光入射在波长λ的深度内，偏振矢有360°相移 偏振光每透入1埃，相应的相位移动可达0.01°至0.1° 实验背景 1 实验背景 1 椭偏光谱的应用范围 (1)测量各种材料(固态和液态、光学各向同性 和各向异性、体材和薄膜)的光学性质和 色散关系; (2)监测各种薄膜的生长; (3)测量材料的电光、磁光、压光、热光等 物理效应。 实验背景