ic半导体测试基础(中文版)整理.pdf

本章节我们来说说最基本的测试——开短路测试（Open-Short Test ），说说测试的目的和 方法。 一．测试目的 Open-Short Test 也称为ContinuityTest 或Contact Test，用以确认在器件测试时所有 的信号引脚都与测试系统相应的通道在电性能上完成了连接，并且没有信号引脚与其他信号 引脚、电源或地发生短路。 测试时间的长短直接影响测试成本的高低，而减少平均测试时间的一个最好方法就 是尽可能早地发现并剔除坏的芯片。Open-Short 测试能快速检测出DUT 是否存在电性物理 缺陷，如引脚短路、bond wire 缺失、引脚的静电损坏、以及制造缺陷等。 另外，在测试开始阶段，Open-Short 测试能及时告知测试机一些与测试配件有关的 问题，如ProbeCard 或器件的Socket 没有正确的连接。 二．测试方法 Open-Short 测试的条件在器件的规格数或测试计划书里通常不会提及，但是对大多 数器件而言，它的测试方法及参数都是标准的，这些标准值会在稍后给出。 基于PMU 的Open-Short 测试是一种串行（Serial）静态的DC 测试。首先将器件 包括电源和地的所有管脚拉低至“地”（即我们常说的清0 ），接着连接PMU 到单个的DUT 管脚，并驱动电流顺着偏置方向经过管脚的保护二极管——一个负向的电流会流经连接到 地的二极管（图3-1），一个正向的电流会流经连接到电源的二极管（图3-2 ），电流的大 小在100uA 到500uA 之间就足够了。大家知道，当电流流经二极管时，会在其P-N 结上引 起大约0.65V 的压降，我们接下来去检测连接点的电压就可以知道结果了。 既然程序控制PMU 去驱动电流，那么我们必须设置电压钳制，去限制Open 管脚 引起的电压。Open-Short 测试的钳制电压一般设置为3V——当一个Open 的管脚被测试到， 它的测试结果将会是3V 。 串行静态Open-Short 测试的优点在于它使用的是DC 测试，当一个失效（failure ） 发生时，其准确的电压测量值会被数据记录（datalog ）真实地检测并显示出来，不管它是 Open 引起还是Short 导致。缺点在于，从测试时间上考虑，会要求测试系统对DUT 的每个 管脚都有相应的独立的DC 测试单元。对于拥有PPPMU 结构的测试系统来说，这个缺点就 不存在了。 当然，Open-Short 也可以使用功能测试（Functional Test ）来进行，我会在后面相 应的章节提及。 图3- 1.对地二极管的测试 测试下方连接到地的二极管，用PMU 抽取大约- 100uA 的反向电流；设置电压下限为 - 1.5V，低于- 1.5V （如-3V ）为开路；设置电压上限为-0.2V，高于-0.2V （如-0.1V ）为短路。 此方法仅限于测试信号管脚（输入、输出及IO 口），不能应用于电源管脚如VDD 和VSS. 图3-2.对电源二极管的测试 测试上方连接到电源的二极管，用PMU 驱动大约100uA 的正向电流；设置电压上限为 1.5V，高于1.5V （如3V ）为开路；设置电压下限为0.2V ，低于0.2V （如0.1V ）为短路。 此方法仅限于测试信号管脚（输入、输出及IO 口），不能应用于电源管脚如VDD 和VSS. 电源类管脚结构和信号类管脚不一样，无法照搬上述测试方法。不过也可以测试其开路 情形，如遵循已知的良品的测量值，直接去设置上下限。 第四章.DC 参数测试（1） 摘要 本章节我们来说说DC 参数测试，大致有以下内容， ◼ 欧姆定律等基础知识 ◼ DC 测试的各种方法 ◼ 各种DC 测试的实现 ◼ 各类测试方法的优缺点 基本术语 在大家看DC 测试部分之前，有几个术语大家还是应该知道的，如下： Hot Switching 热切换，即我们常说的带电操作，在这里和relay （继电器）有关，指在有 电流的情况下断开relay 或闭合relay 的瞬间就有电流流过（如：闭合前relay 两端的电位 不等）。热切换会减少relay 的使用寿命，甚