激光位移干涉仪.docxVIP

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  • 2021-02-03 发布于天津
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激光干涉仪激光干涉仪是利用光的干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的一种精密光学测量仪器其基本原理和结构为迈克尔逊干涉仪两束相干光间光程差的任何变化会非常灵敏地导致干涉场的变化如条纹的移动等而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起所以通过干涉场的变化可测量几何长度尺寸或折射率的微小改变量从而测得与此有关的其他物理量测量精度决定于测量光程差的精度如传统迈克尔逊干涉仪中干涉条纹每移动一个条纹间距光程差就改变个波长所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的现代激光干涉仪是以

激光干涉仪 激光干涉仪是利用光的干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的一种精密 光学测量仪器。其基本原理和结构为迈克尔逊干涉仪。两束相干光间光程差的任何变 化会非常灵敏地导致干涉场的变化(如条纹的移动等) ,而某一束相干光的光程变化 是由它所通过的几何路程或介质折射率的变化引起, 所以通过干涉场的变化可测量几 何长度尺寸或折射率的微小改变量,从而测得与此有关的其他物理量。测量精度决定 于测量光程差的精度,如传统迈克尔逊干涉仪中干涉条纹每移动一个条纹间距,光程 差就改变1/2个波长,所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的。现代激光干涉 仪是以波长高度稳定的稳频激光器为测量工具,其稳定度一般优

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