超精密加工技术详解.pdfVIP

超精密加工技术 ——试论述 AFM，接触式粗糙度测量仪 及白光干涉仪对表面粗糙度的测试原理及应用范围 1.1 AFM对表面粗糙度的测试原理 AFM 是一种类似于 STM 的微观技术，它的许多元件和 STM是共同的， 如用于三维扫描的电压陶瓷系统以及反馈控制器等。它和 STM最大 的不同是用一個对微弱作用力极其敏感的微观臂针尖代替了 STM隧 道针尖，并以探测原子间的微小作用力 (Vander Walls ’ Force) 代替 了 STM 的微小穿透电流。因为这样所以 AFM不在像 STM局限于样品 必须为导体才行， AFM适用于导体和非导体， 它的应用范围比 STM广 泛的多，因此 AFM为目前最被广泛应用在工业界的扫描探针式显微 术。但值得注意的是 AFM 的解析度并沒有 STM来的的好！ AFM的探 针 , 一般是利用半导体工业的平面制程方法一体成行的。为了使探针 有原子级的解析度， 探针乃呈角锥形， 使顶端只具有一颗或数颗稳定 原子；为使探针具高灵敏的原子力感应度， 角锥形探针底部乃连接与 一杠杆的前缘， 此杠杆弯曲程度将反映出原子力的大小。 为测量弯曲 度的大小， 常用的方法是打一雷射光与悬臂上， 而反射回來的雷射光 則利用一能区分光点位置的感光二极体来接收， 如此便能得到悬臂受 原子力弯曲的程度，进而得到原子力图像。 (AFM工艺 由美国与萨诸 塞州 Dynetics 公司开发的 Dynaflow 磨料流加工工艺 (AFM)是一种强 迫含磨料的介质在工件表面或孔中往复运动的金属精加工工艺 , 它 具有广泛的应用前景。 AFM当最先出现时 , 它主要用于清除金属件中 难于到达的内通道及相交部位的毛刺。 它特别适用于加工难加工合金 材料制成的结构复杂的航空元件。 近年来 , 它已被用于精加工流体动 力元件中表面粗糙度要求达 0.127 μm的不能接近的内表面。 AFM的基 本原理：介质速度最大时 , 磨光的能力也最大。 这里 , 夹具的结构起 着重要作用 , 它决定着介质速度在何处最大。 夹具用于使工件定位和 建立介质流动轨迹 , 是精加工所选择部位而不触及相邻部位的关键 所在。 AFM的分类﹕ (1) 接触式﹕利用探针和待测物表面之原子力交互作用 ( 一定要接 触 ) ，此作用力 ( 原子间的排斥力 ) 很小，但由于接触面积很小，因此 过大的作用力仍会损坏样品， 尤其对软性材质， 不过较大的作用力可 得较佳分辨率， 所以选择较适当的作用力便十分的重要。 由于排斥力 对距离非常敏感，所以较易得到原子分辨率。 (2) 非接触式﹕为了解决接触式之 AFM可能破坏样品的缺点，便有 非接触式之 AFM被发展出来，这是利用原子间的长距离吸引力来运 作，由于探针和样品没有接触，因此样品没有被破坏的问题，不过此 力对距离的变化非常小