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SEM/EDS構造與原理探討;介紹大綱;一.前言; 1873 Abbe 和 Helmholfz 分 別 提 出 解 像 力 與 照 射 光 的 波 長 成 反 比 。 奠 定 了 顯 微 鏡 的 理 論 基 礎 。 1897 J.J. Thmson 發現電子 1924 Louis de Broglie （ 1929 年 諾 貝 爾 物 理 獎 得 主 ） 提 出 電 子 本 身 具 有 波 動 的 物 理 特 性 ， 進 一 步 提 供 電 子 顯 微 鏡 的 理 論 基 礎 。 1926 Busch 發 現 電 子 可 像 光 線 經 過 玻 璃 透 鏡 偏 折 一 般 ， 由 電 磁 場 的 改 變 而 偏 折 。 1931 德 國 物 理 學 家 Knoll 及 Ruska 首 先 發 展 出 穿透式電 子 顯 微 鏡 原 型 機 。 1937 首 部 商 業 原 型 機 製 造 成 功 （ Metropolitan Vickers 牌 ） 。 ; 二.電子顯微鏡發展;;JSM-6500F;;; ? 肉眼可見物體的範圍: ~0.1cm ? 光學顯微鏡可見的範圍: ~1um ? 掃描式電子顯微鏡可見的範圍: ~10nm ? 穿透式電子顯微鏡可見的範圍: ~0.1nm;三.電子顯微鏡的種類;(2)穿透式電子顯為鏡(TEM) 穿透式電子顯微鏡觀察試片之製作較繁複，必需有熟練之技巧，同時，試片之實體感也會降低。 穿透式電子顯微鏡將欲觀察的試片放在電子槍內，使觀察的解析度比掃描式高.但因為電子束須穿透試片，所以所需的加速電壓相對比掃描式電子顯微鏡來的高. ;?SEM/TEM/OM的構造比較表;?SEM/TEM/OM的影像比較;四.掃描式電子顯微鏡的原理;五.掃描式電子顯微鏡的構造-照明系统;五.掃描式電子顯微鏡的構造-電子槍 ;五.掃描式電子顯微鏡的構造-電子槍 ;Field emission 電子槍的動作原理;五.掃描式電子顯微鏡的構造-電子槍;五.掃描式電子顯微鏡的構造-電磁透鏡;五.掃描式電子顯微鏡的構造-電磁透鏡;五.掃描式電子顯微鏡的構造-電磁透鏡;五.掃描式電子顯微鏡的構造-遮蔽孔鏡;Mag =1;五.掃描式電子顯微鏡的構造-接物透鏡;六.電子顯微鏡對試片的作用;二次電子與背向電子之區別 ;Incident probe;;六.電子顯微鏡對試片的作用;六.電子顯微鏡對試片的作用;六.電子顯微鏡對試片的作用;ACCV=10kV;?工作距離(WD),物鏡孔片(OL Aperture)與景深三者關係;?WD,OL Aperture與景深比較;背向電子偵測器;;六.電子顯微鏡對試片的作用;七.電子顯微鏡的應用範圍;;;;;;EDS 硬體示意圖;八.EDS (Energy Dispersive System)介紹;八.EDS硬體架構與處理方式介紹;試片產生的能量種類與EDS需收集的X-ray訊號;Xray;EDS detector crystal的動作原理;八.EDS硬體架構與處理方式介紹;?EDS 訊號轉換顯示方式;?EDS 解析度的判定(FWHM);?EDS Detector 收集訊號的角度與距離;八.EDS分析方式;八.EDS分析方式;八.EDS分析方式;?INCA Overview;?Smart Spectrum Acquisition;?Easy Element ID;?Quant Presentation;?Data Comparison;?Smart MAP;?Element Linescan;?Automatic Data Collection;?Element Maps;?Cameo+;十.SEM视频;The Cornell Nanoscale Facility at Cornell University The Stanford Nanofabrication Facility at Stanford University The Solid State Electronics Laboratory at the University of Michigan The Microelectronics Research Center at the Georgia Institute of Technology The Center for Nanotechnology at the University of ??Washington ??????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????????