洁净无尘室之定义标准和设备要求.docxVIP

洁净无尘室之定义 （一）洁净室之定义 （供大家参考）洁净室 （Clean Room） ，亦称为无 尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、 有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压 力、气流速度与气流分布、 噪音振动及照明、静电控制在某一需求范 围内，而所给予特别设计之房间。 亦即是不论外在之空气条件如何变 化，其室内均能俱有维持原先所设定要求之洁净度、 温湿度及压力等 性能之特性。洁净室最主要之作用在于控制产品 （ 如硅芯片等 ）所接触 之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生 产、制造，此空间我们称之为「洁净室」。 （二）洁净室之