MEMS陀螺仪工作原理.docxVIP

陀螺仪是用来测量角速率的器件，在加速度功能基础上，可以进 发展，构建陀螺仪。 陀螺仪的内部原理是这样的：对固定指施加电压，并交替改变电压， 让一个质量块做振荡式来回运动，当旋转时，会产生科里奥利加速度，此 时就可以对其进行测量；这有点类似于加速度计，解码方法大致相同，都 会用到放大器。 角速率由科氏加速度测量结果决定 -科氏加速度=2 X（W X质量块速度） -W是施加的角速率（W = 2 n f） 通过14 kHz共振结构施加的速度（周期性运动）快速耦合到加速度计框 架 -科氏加速度与谐振器具有相同的频率和相位，因此可以抵消低速外部振 动 该机械系统的结构与加速度计相似（微加工多晶硅） 信号调理（电压转换偏移）米用与加速度计类似的技术 施加变化的电压来回移动器件，此时器件只有水平运动没有垂直运动。 如果施加旋转，可以看到器件会上下移动，外部指将感知该运动，从而就能 拾取到与旋转相关的信号。 ■ ■ ■ ■ ■ 上面的动画，只是抽象展示了陀螺仪的工作原理，而真实的陀螺仪内部 构造是下面这个样子。 vELOcrrv sense fingerstfi a cLCORIOLIS SENSE FWGERSINNER FRE-RESONATING MASSt--- DRIVE FINGERS 』 吕ELF TEST vELOcrrv sense fingers tf i a c L CORIOLIS SENSE FWGERS INNER FRE -RESONATING MASS t--- DRIVE FINGERS 』 吕ELF TEST fl a ti C II/F fa 8 3 ti f-k* n \ ■囲：? 亠:卧.［：.■ - ij ；卜. 描:?盘盘：V I *ltei：；feii! p 化■收I点I I ■ i ?qTTL卩屮卅 打― ;■ ■, PS:陀螺仪可以三个一起设计，分别对应于所谓滚动、俯仰和偏航。 任何了解航空器的人都知道，俯仰是指航空器的上下方向，偏航是指左右方 向，滚动是指向左或向右翻滚。要正确控制任何类型的航空器或导弹，都需 要知道这三个参数，这就会用到陀螺仪。它们还常常用于汽车导航，当汽车 进入隧道而失去 GPS信号时，这些器件会记录您的行踪。 无人机在飞行作业时，获取的无人机影像通常会携带配套的 POS数据。 从而在处理中可以更加方便的处理影像。而 POS数据主要包括GPS数据和 IMU数据，即倾斜摄影测量中的外方位元素：（纬度、经度、高程、航向角 （Phi）、俯仰角（Omega及翻滚角（Kapp a））。 GPS数据一般用X、丫、Z表示，代表了飞机在飞行中曝光点时刻的地理 位置。 飞控是由主控MCU和惯性测量模块（IMU, Inertial Measurement Unit ）组成。IMU提供飞行器在空间姿态的传感器原始数据，一般由陀螺仪 传感器/加速度传感器/电子罗盘提供飞行器9DOF数据。 IMU中的传感器用来感知飞行器在空中的姿态和运动状态，这有个专有 名词叫做运动感测追踪，英文 Motion Track ing 。运动感测技术主要有四种 基础运动传感器，下面分别说明其进行运动感测追踪的原理。 微机电系统（MEMS IMU中使用的传感器基本上都是微机电系统（ MEMS，是半导体工业中 非常重要的一个分支。 微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System ）是一种先 进的制造技术平台。微机电系统是微米大小的机械系统，是以半导体制造技 术为基础发展起来的。 我们的四轴飞行器上用到的加速度陀螺仪 MPU6050电子罗盘 HMC58831都是微机电系统，属于传感 MEMS分支。传感MEMS技术是指用微 电子微机械加工出来的、用敏感元件如电容、压电、压阻、热电耦、谐振、 隧道电流等来感受转换电信号的器件和系统。 加速器（G-sensors） 加速器可用来感测线性加速度与倾斜角度，单一或多轴加速器可感应结 合线性与重力加速度的幅度与方向。含加速器的产品，可提供有限的运动感 测功能。 力卩速度计的低频特性好，可以测量低速的静态加速度。在我们的飞行器 上，就是对重力加速度 g （也就是前面说的静态加速度）的测量和分析，其 它瞬间加速度可以忽略。记住这一点对姿态解算融合理解非常重要。 当我们把加速度计拿在手上随意转动时，我们看的是重力加速度在三个 轴上的分量值。加速度计在自由落体时，其输出为 0。为什么会这样呢？这 里涉及到加速度计的设计原理：加速度计测量加速度是通过比力来测量，而 不是通过加速度。 陀螺仪（Gyros） 陀螺仪是利用高速回转体的动量矩敏感壳体相对惯性空间绕正交于自转 轴的一个或二个轴的角运动检测装置。利用其他原理制成的角运动检测装置 起同样功能的也称