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XXXX XXXX 洁净室的运行和日常维护管理 简介：?洁净室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配，方能维持良好的洁净度；洁净室运转管理，可依作业人 员、原物料、设备及洁净室内所用东西等加以探讨；洁净室内系统除了通称的空调系统之外，制程设备也包括在内，本节将对该二系统之运转维护及保养做一概略说 明。 关键字：洁净室?污染源?运转管理?维护保养?一、污染源控制洁净室洁净度之维持和控制，除了硬设备之配合投资外，也需要良好的软件——管理制度来搭配， 方能维持良好的洁净度。洁净室内之微污染来源，经测试?分析?结果，作业人员占约80%，如图1所示。实验数据显示，作业人员进出洁净室时尘埃有显著增 加，有人动作时，洁净度马上劣化，可见洁净度劣化之原因人是主要因素。洁净室的污染源可分为外污染及内污染源。外污染源主要包括空调送风、间隙渗入、建筑 物、工作服、风管材料以及一般性气体如N2、O2、Air、给水、溶剂等；而内污染源则包括制程设备、工作人员、工具、加工制程、隔间材料、工作桌、包装 材料等，图2为微尘粒子的传送路径。对硅芯片而言，微尘粒子之附着将造成集成电路线路的变形或短路，使芯片失去运作功能，因此微污染源的控制已成为洁净室 管理的重要环节。表一为?自然?环境所测得的尘埃浓度，可为设计?参考?，而在微污染控制，其基本原则有四：1.外部尘埃侵入之防止：洁净室适当之正压保 持（0.5mmAq），做好施工工程之不漏气，人员设备、原材料搬入洁净室前先做好清洁擦拭等防尘动作，空气过滤器适当的管理和设置。2.室内发尘之防 止：隔间板、地板等洁净室材料的适当选用、制程设备的发尘抑制、生产自动化及人员不聚集、动作放松、洁净衣的管理、使用洁净室专用器等。3.室内发尘之不 积留：墙壁体应光滑无死角、洁净室需定期保养和清扫、制程设备四周应留有空间。4.发生尘埃之排除：换气次数应足够，适当的空间布置以及污染源接排气和空 调的气流速度须适当。人、物入室的管理?问题?、实际的作业条件和工程管理关联之问题、室内之空调及清扫关系之问题，这些问题将于下节祥述。表1?自然界 微尘粒子数?测量地点微尘粒子数（个/ftsup3;）≥0.5micro;m大气层圈ㄑ100田园地区（微风状 态）100，000~300，000住宅地区100，000~200，000办公室（工作中）200，000~400，000工业?区 400，000~1，000，000正在吸烟的会议室600，000~1，000，000二、洁净室运转管理洁净室运转管理，可依作业人员、原物料、设备 及洁净室内所用东西等加以探讨，并依计划（planning）、实施（Doing）、追踪（Checking）、动作(Action)之PDCA循环步骤 执行。1.作业人员之管理前以提及在洁净室内污染来源80%来自作业人员,因此若能使作业人员依洁净室管理，而所有人员也均能配合实施，则污染源的产生可 说已减大半。现就进入洁净室的作业人员之管理和注意事项说明如下：（1）进入洁净室之人员，必须要具备有达成高洁净度标准，并要维持最好状态之观念。 （2）作业人员进入洁净室数目以维持最小限度原则（愈少愈好），并须依洁净室进出标准流程进出洁净室，如图3所示。出则相反方向进行，唯不须经空气洗尘室 之脱尘处理。（3）对作业人员必须经常讲解洁净室管理之数据，并加以?教育?与训练，?内容?如洁净室管理之一般常识、洁净室之构造与功能、维护和清洁、 安全对策、搬运器材之洁净管理与检查、洁净衣之穿脱、洁净室内之步行方式等，并经?考试?合格者方能进入洁净室工作。（4）在洁净室作业人员须经常保持自 己各方面的干净与清洁。（5）在洁净室内之作业人员或其它人员之移动或动作均为发尘源，其直接?影响?制程，同时亦会影响气流之扰动，为防止与控制上述情 形，基本上须注下列事项：a.不可在作业区域气流之上方放置物品或做其它作业。b.不必要之动作尽量避免以防止乱流发尘。c.与作业无关的私心谈话尽量避 免。d.为控制发尘量，人员步行及作业要静静地进行。表2所示为人体在不同动作时之发尘量。e.作业要在洁净之工作柜或工作桌进行。f.工具等器具须收入 有盖子之箱子或柜中，并置放一定的场所。（6）作业人员须经常保持干净之手，除了常洗手、剪指甲外，手并应保养，以防皮肤之剥离，男性须每天刮胡子。 （7）洁净衣要经常保持着衣之状态。（8）下列所述者不能进入洁净室：a.非作业人员或事先未得许可者。b.未照规定穿着洁净衣者。c.刚做激烈运动流汗 者。d.吸烟或吃东西后，尚未经过半小时以上者。图4为吸烟和未吸烟者微尘产生量与时间之比较图，由图上很明显可看出吸烟者所生之微尘在初期约为非吸烟者 的90倍，直至30分钟后才降至15倍，此为为何洁净室禁止吸烟人员和吸